[实用新型]误差吸收模块、搬运装置和检测设备

说明书

本实用新型公开了一种误差吸收模块、搬运装置和检测设备，该误差吸收模块包括安装座；取放机构，与所述安装座连接，用于收取或者放置工件；导向组件，安装在所述取放机构底部，对取放机构导向，使取放机构与安装在取放机构下方的治具对准；旋转机构，所述旋转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，用于在取放机构与治具对准过程中跟随所述取放机构旋转，从而吸收取放机构的角度误差；以及回转机构，所述回转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，以带动所述取放机构恢复初始位。本实用新型能够吸收治具的角度误差，使得安装稍有误差的治具，仍可以正常作业，降低了加工件的精度要求，降低了加工成本，同时提高了设备的运行稳定性。

技术领域

本实用新型涉及测试领域，特别涉及一种误差吸收模块、搬运装置和检测设备。

背景技术

随着半导体行业的迅速发展，芯片设计、封装及检测等行业具有广阔的应用前景。尤其在芯片的检测领域中，经常需要精确搬运、放置工件或将工件插入固定型腔中。在芯片搬运过程中，芯片需要由标准治具搬运至测试工位，测试工位上的治具多为加工品且需要频繁更换，用常规搬运装置，在更换测试工位的治具后，由于治具的安装误差，芯片往往被放偏，造成工程实践浪费。

为了保证工件的位置精度和检测效果，现有技术中采用以下两种通用方式：一种是提高设备的运行、装配和加工精度，保证工件放置或插入固定型腔时，精度完全在控制范围内。然而，该方式对设备加工件的加工精度、装备精度和运行精度都有特别高的要求，造成了加工资源的浪费，同时也导致设备成本增加。另一种方式是采用对位相机对工件进行光学对准，但是增加对位相机同样导致设备的成本提高。

实用新型内容

本实用新型提供一种误差吸收模块、搬运装置和检测设备，可以在不增加设备成本的前提下，保证工件的搬运和放置精度。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种误差吸收模块，包括：

安装座，用于与外部机构连接；

取放机构，与所述安装座连接，用于收取或者放置工件；

导向组件，安装在所述取放机构底部，对取放机构导向，使取放机构与安装在取放机构底部的治具对准；

旋转机构，所述旋转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，用于在取放机构与治具对准过程中跟随所述取放机构旋转，以吸收取放机构的角度误差；

以及

回转机构，所述回转机构设置在所述安装座与所述取放机构之间，以带动所述取放机构恢复初始位。

作为优选，所述导向组件采用底部设置有倒圆锥台结构的导向销，所述治具上设置有与所述导向销对应的导向孔。

作为优选，所述旋转机构采用交叉滚子轴承，所述交叉滚子轴承的外圈与所述安装座连接，所述交叉滚子轴承的内圈与所述回转机构连接。

作为优选，所述回转机构包括转接盘和复位结构，其中，所述转接盘与所述旋转机构连接，所述复位结构的一端与所述安装座连接，所述复位结构的另一端与所述转接盘的边缘接触，以便带动转接盘复位。

作为优选，所述回转机构还包括一端与所述安装座连接的回转限制销，所述转接盘的外周开设有与回转限制销的另一端位置对应的回转限制槽。

作为优选，所述复位结构采用板簧，所述板簧通过板簧座与所述安装座连接。

作为优选，所述转接盘的外周开设有板簧限制槽，所述板簧与所述板簧限制槽的一侧内壁贴合。

作为优选，所述板簧至少设置有两组，分别从两个不同方向对偏移的取放机构进行复位。

本实用新型还提供一种搬运装置，包括如上所述的误差吸收模块。