[实用新型]一种晶片加工机台的基座

权利要求书

1.一种晶片加工机台的基座，包括基座(1)，其特征在于，所述基座(1)的竖直截面为上窄下宽的梯形，基座(1)的上方两侧均设有支柱一(2)，支柱一(2)的上侧安装有外壳体(19)，支柱一(2)朝基座(1)内侧设有电动伸缩杆(3)，电动伸缩杆(3)的活动杆顶部连接有卡块(4)，卡块(4)滑动连接有活动块(5)，两活动块(5)之间固定设有置物台(6)，置物台(6)的上侧设有通孔(7)，通孔(7)的外侧设有螺旋凹槽(8)，所述置物台(6)的两侧与通孔(7)连接有进气口一(9)、进气口二(10)、出气口一(11)和出气口二(12)，置物台(6)一侧上方与进气口一(9)连接有进气管(13)，置物台(6)一侧上方与进气口二(10)连接有集气管(14)，所述活动块(5)远离卡块(4)的一侧位于置物台(6)的下方设有齿条(15)，齿条(15)连接有齿轮(16)，齿轮(16)转动连接有梯形支柱(20)，梯形支柱(20)的底面固定连接在基座(1)上，基座(1)的上方位于置物台(6)的下方设有链轮(17)，链轮(17)连接有减速电机，链轮(17)通过两链条(18)转动连接两齿轮(16)。

2.根据权利要求1所述的一种晶片加工机台的基座，其特征在于，所述卡块(4)与活动块(5)的接触面为倾斜，且活动块(5)的竖直截面为直角梯形，上宽下窄，活动块(5)的顶部与置物台(6)的顶部平齐。

3.根据权利要求1所述的一种晶片加工机台的基座，其特征在于，所述通孔(7)的上侧为开口。

4.根据权利要求1所述的一种晶片加工机台的基座，其特征在于，所述进气口一(9)、进气口二(10)与进气管(13)通过置物台(6)相通，出气口一(11)、出气口二(12)和集气管(14)通过置物台(6)相通。

5.根据权利要求1所述的一种晶片加工机台的基座，其特征在于，所述链轮(17)设有同轴设有两个，分别连接齿轮(16)。

6.根据权利要求1所述的一种晶片加工机台的基座，其特征在于，所述电动伸缩杆(3)和链轮(17)的电机均通过电性连接，且在卡块(4)上与活动块(5)的接触面设有压力传感器。