[实用新型]一种低成本光探测器有效

专利信息
申请号: 201921275908.8 申请日: 2019-08-08
公开(公告)号: CN210040213U 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 金华伏安光电科技有限公司
主分类号: H01L31/0236 分类号: H01L31/0236;H01L31/0392;H01L31/108
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地址: 322200 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 金属层 本实用新型 砂纸 透明电极层 磨砂颗粒 凸起 光吸收效率 半导体层 光探测器 连接电极 微纳结构 依次设置 电极 低成本 电流表 电压源 热电子 制备
【说明书】:

本实用新型提供了一种低成本光探测器,包括从下往上依次设置的金属层、半导体层、透明电极层,在金属层下面还设有砂纸,在所述金属层和所述透明电极层上分别连接电极,两电极间连接电压源和电流表。本实用新型利用砂纸的磨砂颗粒在金属层上形成凸起,从而提高光吸收效率和热电子的产生效率。因为本实用新型利用磨砂颗粒形成金属层上的凸起,而不是利用其它复杂的微纳结构制备方法,所以成本低。

技术领域

本实用新型涉及光探测领域,具体涉及一种低成本光探测器。

背景技术

表面等离激元是提高光探测或光电转换效率的重要手段。表面等离激元激发的热电子突破了金属-半导体截面的肖特基势垒,形成光电流,并被外电路收集。在传统的金属-半导体结构中,产生热电子的效率并不高。为提高该热电子产生的效率,研究者提出了多种金属微纳结构,以提高对光的吸收或提高产生热电子的效率。但是,这些金属微纳结构复杂,制备时往往应用到电子束曝光、离子束刻蚀、电化学等方法,成本高。

发明内容

为解决以上问题,本实用新型提供了一种低成本光探测器,该光探测器,包括从下往上依次设置的金属层、半导体层、透明电极层,在金属层和透明电极层上分别连接电极,两电极间连接电压源和电流表,该光探测器还包括设置在所述金属层下面的砂纸。

更进一步地,砂纸包括从下往上依次设置的基层、粘胶层、磨砂颗粒。

更进一步地,金属层的材料为金或银。

更进一步地,砂纸的目数大于1000。

更进一步地,金属层的厚度小于1微米。

更进一步地,半导体层的材料为氧化锌。

更进一步地,半导体层的厚度小于200纳米。

更进一步地,透明电极层的材料为ITO或石墨烯。

更进一步地,在金属层的下面还设有二氧化硅层。

更进一步地,二氧化硅层的厚度小于1微米。

本实用新型的有益效果:本实用新型在砂纸上设置金属层,因为砂纸上的具有磨砂颗粒,在磨砂颗粒上设置金属层后,形成具有凸起形状的金属层,这些凸起会增强金属层对光的吸收,并产生更多的热电子。本实用新型中,这些凸起是由磨砂颗粒形成的,而不是由其他复杂方法制备而得的,所以制备成本低。

以下将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。

附图说明

图1是低成本光探测器的示意图。

图中:1、基层;2、粘胶层;3、磨砂颗粒;4、金属层;5、半导体层;6、透明电极层。

具体实施方式

为进一步阐述本实用新型达成预定目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及实施例对本实用新型的具体实施方式、结构特征及其功效,详细说明如下。

实施例1

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