[实用新型]一种低成本光探测器有效
申请号: | 201921275908.8 | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN210040213U | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 金华伏安光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0236 | 分类号: | H01L31/0236;H01L31/0392;H01L31/108 |
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地址: | 322200 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属层 本实用新型 砂纸 透明电极层 磨砂颗粒 凸起 光吸收效率 半导体层 光探测器 连接电极 微纳结构 依次设置 电极 低成本 电流表 电压源 热电子 制备 | ||
本实用新型提供了一种低成本光探测器,包括从下往上依次设置的金属层、半导体层、透明电极层,在金属层下面还设有砂纸,在所述金属层和所述透明电极层上分别连接电极,两电极间连接电压源和电流表。本实用新型利用砂纸的磨砂颗粒在金属层上形成凸起,从而提高光吸收效率和热电子的产生效率。因为本实用新型利用磨砂颗粒形成金属层上的凸起,而不是利用其它复杂的微纳结构制备方法,所以成本低。
技术领域
本实用新型涉及光探测领域,具体涉及一种低成本光探测器。
背景技术
表面等离激元是提高光探测或光电转换效率的重要手段。表面等离激元激发的热电子突破了金属-半导体截面的肖特基势垒,形成光电流,并被外电路收集。在传统的金属-半导体结构中,产生热电子的效率并不高。为提高该热电子产生的效率,研究者提出了多种金属微纳结构,以提高对光的吸收或提高产生热电子的效率。但是,这些金属微纳结构复杂,制备时往往应用到电子束曝光、离子束刻蚀、电化学等方法,成本高。
发明内容
为解决以上问题,本实用新型提供了一种低成本光探测器,该光探测器,包括从下往上依次设置的金属层、半导体层、透明电极层,在金属层和透明电极层上分别连接电极,两电极间连接电压源和电流表,该光探测器还包括设置在所述金属层下面的砂纸。
更进一步地,砂纸包括从下往上依次设置的基层、粘胶层、磨砂颗粒。
更进一步地,金属层的材料为金或银。
更进一步地,砂纸的目数大于1000。
更进一步地,金属层的厚度小于1微米。
更进一步地,半导体层的材料为氧化锌。
更进一步地,半导体层的厚度小于200纳米。
更进一步地,透明电极层的材料为ITO或石墨烯。
更进一步地,在金属层的下面还设有二氧化硅层。
更进一步地,二氧化硅层的厚度小于1微米。
本实用新型的有益效果:本实用新型在砂纸上设置金属层,因为砂纸上的具有磨砂颗粒,在磨砂颗粒上设置金属层后,形成具有凸起形状的金属层,这些凸起会增强金属层对光的吸收,并产生更多的热电子。本实用新型中,这些凸起是由磨砂颗粒形成的,而不是由其他复杂方法制备而得的,所以制备成本低。
以下将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。
附图说明
图1是低成本光探测器的示意图。
图中:1、基层;2、粘胶层;3、磨砂颗粒;4、金属层;5、半导体层;6、透明电极层。
具体实施方式
为进一步阐述本实用新型达成预定目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及实施例对本实用新型的具体实施方式、结构特征及其功效,详细说明如下。
实施例1
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的