[实用新型]C4

权利要求书

1.一种C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体分压配气装置，其特征在于，包括C₄F₇N进气管路结构、CO₂进气管路结构、O₂进气管路结构、C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体分压混合管路结构、C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体输出管路结构；

所述C₄F₇N进气管路结构、CO₂进气管路结构、O₂进气管路结构用以将C₄F₇N、CO₂、O₂依次输送至所述C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体分压混合管路结构中；所述C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体分压混合管路结构用以对输入其中的C₄F₇N、CO₂、O₂进行定压并将定压后的C₄F₇N、CO₂、O₂进行混合，所述C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体输出管路结构用以输出定压混合后的C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体；

多个所述C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体分压混合管路结构呈并联设置。

2.根据权利要求1所述的C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体分压配气装置，其特征在于，所述C₄F₇N进气管路结构、CO₂进气管路结构、O₂进气管路结构相同且呈并联设置，均包括减压阀、电磁阀、进气管道；

所述进气管道的出气口与所述C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体分压混合管路结构的进气端连通；所述减压阀、电磁阀均设置在所述进气管道中。

3.根据权利要求1所述的C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体分压配气装置，其特征在于，所述C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体分压混合管路结构包括气体压力调节管路结构、气体混合管路结构；所述气体压力调节管路结构的进气端与所述C₄F₇N进气管路结构的出气端、CO₂进气管路结构的出气端、O₂进气管路结构的出气端连通，用以对输入其中的气体其压力进行调控；所述气体压力调节管路结构的出气端与所述气体混合管路结构的进气端连通，用以将定压后的气体进行混合。

4.根据权利要求3所述的C₄F₇N/CO₂/O₂三元混合气体分压配气装置，其特征在于，所述气体压力调节管路结构包括压力调节管道、比例阀、第一电磁阀；所述压力调节管道的进气口与各个进气管路结构的出气端连通，所述压力调节管道的出气口与所述气体混合管路结构的进气端连通；所述比例阀、第一电磁阀均设置在所述压力调节管道中。