[实用新型]声表面波谐振器和声表面波滤波器有效
| 申请号： | 201921277229.4 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN210041772U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 张树民;王国浩;汪泉;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 11226 北京中知法苑知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 汇流电极部 栅阵 声表面波谐振器 能量泄露 叉指 叉指换能器 叉指电极 反射栅阵 声表面波 周期分布 电极部 电连接 基板 滤波器 本实用新型 和声表面波 | ||
1.一种声表面波谐振器，包括基板、设置在所述基板上的叉指换能器以及位于所述叉指换能器长度方向两侧的反射栅阵，所述叉指换能器包括叉指汇流电极部以及与所述叉指汇流电极部电连接并呈周期分布的叉指电极部，所述反射栅阵包括栅阵汇流电极部以及与所述栅阵汇流电极部电连接并呈周期分布的栅阵指电极部，所述栅阵汇流电极部与所述叉指汇流电极部相对应，所述栅阵指电极部与所述叉指电极部相对应，其特征在于，所述栅阵汇流电极部和所述叉指汇流电极部之间设置有至少一个防能量泄露部，以阻止声表面波能量泄露。
2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述防能量泄露部包括自所述叉指汇流电极部向靠近所述栅阵汇流电极部的方向延伸的凸出部以及自所述栅阵汇流电极部向远离所述叉指汇流电极部凹陷的凹陷部，所述凸出部伸入所述凹陷部内。
3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述凸出部与所述叉指汇流电极部一体形成。
4.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述凹陷部包括底壁以及自所述底壁向靠近所述叉指汇流电极部的方向延伸的两个侧壁，所述凸出部插置在两个所述侧壁之间，并且，所述凸出部与两个所述侧壁存在相互重叠的区域。
5.根据权利要求4所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述凸出部与两个所述侧壁存在相互重叠的区域长度范围为1个～5个换能器叉指电极周期。
6.根据权利要求5所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述凸出部与两个所述侧壁、所述底壁之间均绝缘间隔设置，并且，相邻的两个所述凸出部与所述底壁之间的间隔为1/4个所述换能器叉指电极周期。
7.根据权利要求6所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述换能器叉指电极周期为相邻两个叉指电极部的中心之间的距离。
8.根据权利要求1至7中任意一项所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述防能量泄露部包括自所述栅阵汇流电极部向靠近所述叉指汇流电极部延伸的凸出部以及自所述叉指汇流电极部向远离所述栅阵汇流电极部的方向凹陷的凹陷部，所述凸出部伸入所述凹陷部内。
9.根据权利要求1至7中任意一项所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述栅阵汇流电极部和所述叉指汇流电极部之间设置有多个所述防能量泄露部，所述多个防能量泄露部等间距设置。
10.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括权利要求1至9中任意一项所述的声表面波谐振器。
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