[实用新型]声表面波谐振器和声表面波滤波器有效

专利信息
申请号: 201921277229.4 申请日: 2019-08-08
公开(公告)号: CN210041772U 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 张树民;王国浩;汪泉;其他发明人请求不公开姓名 申请(专利权)人: 杭州左蓝微电子技术有限公司
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H03H9/64
代理公司: 11226 北京中知法苑知识产权代理有限公司 代理人: 李明
地址: 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 汇流电极部 栅阵 声表面波谐振器 能量泄露 叉指 叉指换能器 叉指电极 反射栅阵 声表面波 周期分布 电极部 电连接 基板 滤波器 本实用新型 和声表面波
【说明书】:

实用新型提供一种声表面波谐振器和声表面波滤波器,包括基板、设置在基板上的叉指换能器以及位于叉指换能器长度方向两侧的反射栅阵,叉指换能器包括叉指汇流电极部以及与叉指汇流电极部电连接并呈周期分布的叉指电极部,反射栅阵包括栅阵汇流电极部以及与栅阵汇流电极部电连接并呈周期分布的栅阵指电极部,栅阵汇流电极部与叉指汇流电极部相对应,所述栅阵指电极部与所述叉指电极部相对应,所述栅阵汇流电极部和所述叉指汇流电极部之间设置有至少一个防能量泄露部,以阻止声表面波能量泄露。这样,可以通过所设置的防能量泄露部,阻止声表面波谐振器的声表面波能量泄露,从而可以提高声表面波谐振器的Q值,改善声表面波谐振器的性能。

技术领域

本实用新型涉及谐振器技术领域,具体涉及一种声表面波谐振器和一种包括该声表面波谐振器的声表面波滤波器。

背景技术

在通信射频前端模块中,声表面波滤波器是其核心器件。声表面波滤波器由一系列声表面波谐振器构建而成,谐振器的Q值决定了滤波器性能的优劣,所以提高声表面波谐振器的Q值一直是本领域的研究热点之一。

声能量泄露是导致声表面波谐振器Q值降低的一个重要因素。在谐振器声孔径的两端,金属汇流条连接电极指条,通常汇流条区域的声表面波速度要低于叉指换能器和反射栅阵中的声表面波速度,所以能限制声能量向外侧传播。然而在声表面波谐振器换能器和栅阵的连接处,汇流条是断开的,即该处为自由表面的缝隙,其声表面波速度高于叉指换能器和反射栅阵中的声表面波速度,构成一个声能量泄露通道。现有设计技术中该缝隙是一个矩形的直通道或者开口变大的通道,任由该处的声能量泄露而不加阻拦。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种声表面波谐振器和一种包括该声表面波谐振器的声表面波滤波器。

本实用新型的第一方面,提供一种声表面波谐振器,包括基板、设置在所述基板上的叉指换能器以及位于所述叉指换能器长度方向两侧的反射栅阵,所述叉指换能器包括叉指汇流电极部以及与所述叉指汇流电极部电连接并呈周期分布的叉指电极部,所述反射栅阵包括栅阵汇流电极部以及与所述栅阵汇流电极部电连接并呈周期分布的栅阵指电极部,所述栅阵汇流电极部与所述叉指汇流电极部相对应,所述栅阵指电极部与所述叉指电极部相对应,所述栅阵汇流电极部和所述叉指汇流电极部之间设置有至少一个防能量泄露部,以阻止声表面波能量泄露。

可选地,所述防能量泄露部包括自所述叉指汇流电极部向靠近所述栅阵汇流电极部的方向延伸的凸出部以及自所述栅阵汇流电极部向远离所述叉指汇流电极部凹陷的凹陷部,所述凸出部伸入所述凹陷部内。

可选地,所述凸出部与所述叉指汇流电极部一体形成。

可选地,所述凹陷部包括底壁以及自所述底壁向靠近所述叉指汇流电极部的方向延伸的两个侧壁,所述凸出部插置在两个所述侧壁之间,并且,所述凸出部与两个所述侧壁存在相互重叠的区域。

可选地,所述凸出部与两个所述侧壁存在相互重叠的区域长度范围为1个~5个换能器叉指电极周期。

可选地,所述凸出部与两个所述侧壁、所述底壁之间均绝缘间隔设置,并且,相邻的两个所述凸出部与所述底壁之间的间隔为1/4个所述换能器叉指电极周期。

可选地,所述换能器叉指电极周期为相邻两个叉指电极部的中心之间的距离。

可选地,所述防能量泄露部包括自所述栅阵汇流电极部向靠近所述叉指汇流电极部延伸的凸出部以及自所述叉指汇流电极部向远离所述栅阵汇流电极部的方向凹陷的凹陷部,所述凸出部伸入所述凹陷部内。

可选地,所述栅阵汇流电极部和所述叉指汇流电极部之间设置有多个所述防能量泄露部,所述多个防能量泄露部等间距设置。

本实用新型的第二方面,提供一种声表面波滤波器,包括前文记载的所述的声表面波谐振器。

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