[实用新型]微透镜母模有效
| 申请号： | 201921285663.7 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN210666081U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 黄玲玲 | 申请（专利权）人： | 北京万应科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 刘金峰 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透镜 | ||
1.一种微透镜母模，其特征在于，包括：衬底、金属连接层和多排金属半球部，每排金属半球部包括多个金属半球，相邻两排金属半球部的间距与相邻金属半球的间距相等，所述金属半球与金属连接层一一对应，所述金属半球通过金属连接层固定在衬底上。
2.如权利要求1所述的微透镜母模，其特征在于，所述金属半球朝向金属连接层的侧面的面积与金属连接层的面积一致。
3.如权利要求2所述的微透镜母模，其特征在于，所述金属半球的材质为金锡合金或者锡铅合金。
4.如权利要求1所述的微透镜母模，其特征在于，所述金属连接层包括金属粘接层和抗扩散层，金属粘接层沉积在衬底上，抗扩散层沉积在金属粘接层上，金属半球设置在抗扩散层上。
5.如权利要求4所述的微透镜母模，其特征在于，所述抗扩散层的材质为金，所述金属粘接层的材质为钛。
6.如权利要求5所述的微透镜母模，其特征在于，所述抗扩散层的厚度大于金属粘接层的厚度。
7.如权利要求6所述的微透镜母模，其特征在于，所述抗扩散层的厚度为金属粘接层的十倍。
8.如权利要求7所述的微透镜母模，其特征在于，所述抗扩散层的厚度为480-510纳米，金属粘接层厚度为480-510纳米。
9.如权利要求1-8任一所述的微透镜母模，其特征在于，所述衬底的材质为硅或者玻璃或者陶瓷。
10.如权利要求1-8任一所述的微透镜母模，其特征在于，相邻金属半球的间距等于金属半球的球径。
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