[实用新型]微透镜母模

说明书

本实用新型实施例公开了一种微透镜母模，包括：衬底、金属连接层和多排金属半球部，每排金属半球部包括多个金属半球，相邻两排金属半球部的间距与相邻金属半球的间距相等，所述金属半球与金属连接层一一对应，所述金属半球通过金属连接层固定在衬底上。利用本实用新型实施例不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度和高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用高温真空回流技术，使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度。

技术领域

本实用新型涉及微透镜技术领域，具体涉及一种微透镜母模。

背景技术

微透镜阵列器件在焦平面集光、激光准直、大面阵显示、光效率增强、光计算、光互联及微型扫描等方面的应用越来越广泛，其制作方法和工艺得到了日益深入的研究。

目前，微透镜阵列器件的制造方法是：先利用透镜母模制作浇筑模具或者热压模具，再利用树脂材料在浇筑模具或者热压模具上浇铸或热压形成树脂透镜。技术研发人员在实现本实用新型的过程中发现，现有技术中的透镜母模采用铣锻工艺制作而成，需要反复加工，工艺复杂，成本高。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提出一种微透镜母模，以解决上述技术问题。

本实用新型实施例提出一种微透镜母模，其包括：衬底、金属连接层和多排金属半球部，每排金属半球部包括多个金属半球，相邻两排金属半球部的间距与相邻金属半球的间距相等，所述金属半球与金属连接层一一对应，所述金属半球通过金属连接层固定在衬底上。

可选地，所述金属半球朝向金属连接层的侧面的面积与金属连接层的面积一致。

可选地，所述金属半球的材质为金锡合金或者锡铅合金。

可选地，所述金属连接层包括金属粘接层和抗扩散层，金属粘接层沉积在衬底上，抗扩散层沉积在金属粘接层上，金属半球设置在抗扩散层上。

可选地，所述抗扩散层的材质为金，所述金属粘接层的材质为钛。

可选地，所述抗扩散层的厚度大于金属粘接层的厚度。

可选地，所述抗扩散层的厚度为金属粘接层的十倍。

可选地，所述抗扩散层的厚度为480-510纳米，金属粘接层厚度为480-510纳米。

可选地，所述衬底的材质为硅或者玻璃或者陶瓷。

可选地，相邻金属半球的间距等于金属半球的球径。

本实用新型实施例提供的微透镜母模通过设置衬底、金属连接层和多排金属半球部，相邻两排金属半球部的间距与相邻金属半球的间距相等，每排金属半球部的金属半球通过金属连接层固定在衬底，不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度和高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用高温真空回流技术使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度，实现超低粗糙度的微透镜母模的制造，而且易于清洁和再生，可适应各种微透镜母模的制造，适用性广。

附图说明

图1是本实用新型实施例的微透镜母模制造方法的流程图。

图2是本实用新型另一实施例的微透镜母模制造方法的制造示意图。

图3是本实用新型实施例的微透镜母模的结构示意图。

图4是图2中A的放大图。

图5是本实用新型实施例的微透镜母模的截面图。

图6是图5中B的放大图。

具体实施方式