[实用新型]一种旋转靶材的垂直绑定装置

权利要求书

1.一种旋转靶材的垂直绑定装置，包括衬管(1)、分段套设在衬管(1)上的至少两个靶管(2)、所述衬管(1)内设有内加热装置(3)，所述靶管(2)外设有外加热装置(4)；其特征在于：所述内加热装置(3)沿所述衬管(1)的延伸方向分为独立控制的多个加热段(31)，所述加热段(31)与所述靶管(2)一一对应设置；所述外加热装置(4)与所述靶管(2)一一对应设置，每个所述外加热装置(4)均为独立控制。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材的垂直绑定装置，其特征在于：每个所述加热段(31)与第一温控器(5)对应连接，每个所述外加热装置(4)与第二温控器(6)对应连接。

3.根据权利要求2所述的旋转靶材的垂直绑定装置，其特征在于：所述内加热装置(3)包括加热丝卷绕而成的加热棒(32)，以及套设在所述加热棒(32)外的导热套(33)。

4.根据权利要求3所述的旋转靶材的垂直绑定装置，其特征在于：所述外加热装置(4)为包覆在对应的所述靶管(2)外侧的加热套。

5.根据权利要求4所述的旋转靶材的垂直绑定装置，其特征在于：在所述加热套上设有可脱开的连接结构(41)。

6.根据权利要求5所述的旋转靶材的垂直绑定装置，其特征在于：所述连接结构(41)为对应设置在所述加热套两端的公魔术贴和母魔术贴。

7.根据权利要求1至6任一权利要求所述的旋转靶材的垂直绑定装置，其特征在于：所述加热段(31)长度为20-600mm。

8.根据权利要求1至6任一权利要求所述的旋转靶材的垂直绑定装置，其特征在于：所述内加热装置(3)的上端设有拉环(34)。