[实用新型]一种旋转靶材的垂直绑定装置

说明书

本实用新型涉及一种旋转靶材的垂直绑定装置，包括衬管(1)、分段套设在衬管(1)上的至少两个靶管(2)、所述衬管(1)内设有内加热装置(3)，所述靶管(2)外设有外加热装置(4)；其特征在于：所述内加热装置(3)沿所述衬管(1)的延伸方向分为独立控制的多个加热段(31)，所述加热段(31)与所述靶管(2)一一对应设置；所述外加热装置(4)与所述靶管(2)一一对应设置，每个所述外加热装置(4)均为独立控制。本实用新型的绑定装置能够防止焊料在绑定过程中冲破密封装置。

技术领域

本实用新型涉及靶材绑定领域，尤其涉及一种旋转靶材的垂直绑定装置。

背景技术

磁控溅射镀膜是目前镀膜行业应用广泛的镀膜沉积工艺。溅射镀膜的原理是在真空条件下，通过电子枪氩离子对靶材表面进行轰击，靶材表面材料以分子、原子、离子或电子等形式被溅射出来，飞溅到基板上沉积成膜。

溅射靶材通常有两类：平面靶材和旋转靶材，其中平面靶材的利用率只有20-30％，为了提高靶材的利用率，旋转靶材被越来越多地应用于实际制造中。并且随着科技的进步，越来越需要大尺寸的旋转靶材。

对于陶瓷靶管和某些金属靶管，由于其脆性大，很难用浇注法和喷涂方法生产，只能用冷等静压加烧结或热等静压方法生产出一节节靶管，然后通过绑定到衬管上形成大尺寸靶材。目前常用的绑定方式可参考公开号为CN206366646U的中国实用新型专利《一种陶瓷旋转靶材邦定的金属密封系统》，该种旋转靶材包括金属背管和套置在金属背管外部的第一陶瓷旋转靶材，其中，金属背管和第一陶瓷旋转靶材在底部由一堵头密封形成空腔；金属背管的管内设置有内加热器，并且，第一陶瓷旋转靶材的外部设置有外加热器；金属背管和第一陶瓷旋转靶材之间的空腔内浇铸有低熔点金属绑定层，现有技术中的低熔点金属常用铟。采用这种方式进行绑定，在依次绑定各个靶管的过程中，内加热器长期保持加热状态，要制成大尺寸靶材，需要绑定多个靶管，因此背管与靶管之间的空腔充填了很多铟焊料，这会导致铟焊料由于重力冲破密封装置，导致焊料泄漏，而使得绑定失败。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的现状提供一种能够防止焊料冲破密封装置的旋转靶材垂直绑定装置。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：该种旋转靶材的垂直绑定装置，包括衬管、分段套设在衬管上的至少两个靶管、所述衬管内设有内加热装置，所述靶管外设有外加热装置；所述内加热装置沿所述衬管的延伸方向分为独立控制的多个加热段，所述加热段与所述靶管一一对应设置；所述外加热装置与所述靶管一一对应设置，每个所述外加热装置均为独立控制。

为了便于进行温度控制，每个所述加热段与第一温控器对应连接，每个所述外加热装置与第二温控器对应连接。

优选的，所述内加热装置包括加热丝卷绕而成的加热棒，以及套设在所述加热棒外的导热套。通过导热套进行导热，加热更为均匀。

优选的，所述外加热装置为包覆在对应的所述靶管外侧的加热套。

为了便于拆卸加热套，在所述加热套上设有可脱开的连接结构。

为了便于脱扣连接结构，所述连接结构为对应设置在所述加热套两端的公魔术贴和母魔术贴。

优选的，所述加热段长度为20-600mm，进一步优选的，所述加热段长度为200-300mm。

当生产大尺寸靶材时，内加热装置的长度不足，为了便于提起内加热装置对于衬管上端进行加热，所述内加热装置的上端设有拉环。