[实用新型]硅片花篮

权利要求书

1.一种硅片花篮，包括相互平行设置的两个端板、连接于两个所述端板之间并沿第一方向延伸的支撑杆及插片杆，其特征在于：所述端板两侧具有侧向向外的连接面；所述插片杆两端具有固定部，所述固定部与所述连接面沿与第一方向垂直的第二方向进行固定连接设置，所述硅片花篮还包括可选择性设置在所述连接面与固定部之间的调节件。

2.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于：所述硅片花篮还包括沿第二方向将所述固定部或固定部与调节件固定于所述连接面上的定位件。

3.根据权利要求2所述的硅片花篮，其特征在于：所述端板上设有自所述连接面沿第二方向向内延伸并与所述定位件相配合的定位孔，所述固定部及调节件上分别开设有沿第二方向贯通并与所述定位件相配合的第一通孔及第二通孔。

4.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于：所述端板外侧沿第二方向凹陷形成有限位槽，对应于所述端板该侧的连接面为限位槽内垂直于第二方向的内壁面。

5.根据权利要求4所述的硅片花篮，其特征在于：所述限位槽的凹陷深度不小于所述调节件及固定部沿第二方向的延伸长度之和。

6.根据权利要求5所述的硅片花篮，其特征在于：所述限位槽的凹陷深度不小于10mm。

7.根据权利要求5所述的硅片花篮，其特征在于：所述限位槽的宽度不小于所述调节件及所述固定部的宽度，所述限位槽内相对的两内侧壁形成用以对固定部进行限位的限位面。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的硅片花篮，其特征在于：所述插片杆对称设置于所述端板的两侧，所述调节件也可选择性地设置于所述端板两侧的连接面与固定部之间。