[实用新型]陶瓷盘等分旋转机构有效

专利信息
申请号: 201921314094.4 申请日: 2019-08-14
公开(公告)号: CN210040150U 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 李继忠;李述周;朱春 申请(专利权)人: 常州科沛达清洗技术股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 升降台 等分旋转 定位台 陶瓷盘 升降动力件 旋转动力 通孔 气管 升降 本实用新型 驱动 定位准确 定位组件 轴向旋转 组件包括 晶圆片 工作台 贴合 贴片 连通 穿过 配合 保证
【权利要求书】:

1.一种陶瓷盘等分旋转机构,其特征在于:包括工作台及设置在工作台上的等分旋转组件,所述等分旋转组件包括升降动力件、升降台、旋转动力件及定位台,所述定位台固定在工作台上,定位台中心具有通孔,所述升降动力件与升降台连接,所述升降台内具有气管,升降台上表面具有气孔,气管与气孔连通,升降动力件可驱动升降台升降以穿过定位台的通孔,所述旋转动力件与升降台连接,旋转动力件可驱动升降台轴向旋转。

2.根据权利要求1所述的陶瓷盘等分旋转机构,其特征在于:所述定位台周围设置有用于定位陶瓷盘的定位组件,所述定位组件包括推送动力件及推板,所述推送动力件可驱动推板平移,所述推板侧部开设有与陶瓷盘边缘相对应的弧形槽。

3.根据权利要求1所述的陶瓷盘等分旋转机构,其特征在于:所述升降台顶端固定有转板,所述旋转动力件与转板连接。

4.根据权利要求3所述的陶瓷盘等分旋转机构,其特征在于:所述升降台底端设置有连接座,所述升降动力件通过连接座与升降台连接,升降台与连接座之间设置有轴承。

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