[实用新型]陶瓷盘等分旋转机构有效
申请号: | 201921314094.4 | 申请日: | 2019-08-14 |
公开(公告)号: | CN210040150U | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 李继忠;李述周;朱春 | 申请(专利权)人: | 常州科沛达清洗技术股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68;H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 升降台 等分旋转 定位台 陶瓷盘 升降动力件 旋转动力 通孔 气管 升降 本实用新型 驱动 定位准确 定位组件 轴向旋转 组件包括 晶圆片 工作台 贴合 贴片 连通 穿过 配合 保证 | ||
1.一种陶瓷盘等分旋转机构,其特征在于:包括工作台及设置在工作台上的等分旋转组件,所述等分旋转组件包括升降动力件、升降台、旋转动力件及定位台,所述定位台固定在工作台上,定位台中心具有通孔,所述升降动力件与升降台连接,所述升降台内具有气管,升降台上表面具有气孔,气管与气孔连通,升降动力件可驱动升降台升降以穿过定位台的通孔,所述旋转动力件与升降台连接,旋转动力件可驱动升降台轴向旋转。
2.根据权利要求1所述的陶瓷盘等分旋转机构,其特征在于:所述定位台周围设置有用于定位陶瓷盘的定位组件,所述定位组件包括推送动力件及推板,所述推送动力件可驱动推板平移,所述推板侧部开设有与陶瓷盘边缘相对应的弧形槽。
3.根据权利要求1所述的陶瓷盘等分旋转机构,其特征在于:所述升降台顶端固定有转板,所述旋转动力件与转板连接。
4.根据权利要求3所述的陶瓷盘等分旋转机构,其特征在于:所述升降台底端设置有连接座,所述升降动力件通过连接座与升降台连接,升降台与连接座之间设置有轴承。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造