[实用新型]陶瓷盘等分旋转机构

说明书

本实用新型涉及一种陶瓷盘等分旋转机构，包括工作台及设置在工作台上的等分旋转组件，等分旋转组件包括升降动力件、升降台、旋转动力件及定位台，定位台固定在工作台上，定位台中心具有通孔，升降动力件与升降台连接，升降台内具有气管，升降台上表面具有气孔，气管与气孔连通，升降动力件可驱动升降台升降以穿过定位台的通孔，旋转动力件与升降台连接，旋转动力件可驱动升降台轴向旋转。该陶瓷盘等分旋转机构通过等分旋转组件与定位组件相配合，定位准确可靠，可以实现陶瓷盘等分旋转，从而可以均匀地在陶瓷盘上贴合晶圆片，保证贴片的质量。

技术领域

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种陶瓷盘等分旋转机构。

背景技术

中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。

现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。晶圆片贴片时，由于陶瓷盘上需要等分地贴合多张晶圆片，现有技术中的等分机构结构复杂，定位不精确，从而影响了贴片质量。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种定位准确、加工效率高、能够提高贴片质量的陶瓷盘等分旋转机构。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种陶瓷盘等分旋转机构，包括工作台及设置在工作台上的等分旋转组件，所述等分旋转组件包括升降动力件、升降台、旋转动力件及定位台，所述定位台固定在工作台上，定位台中心具有通孔，所述升降动力件与升降台连接，所述升降台内具有气管，升降台上表面具有气孔，升降动力件可驱动升降台升降以穿过定位台的通孔，所述旋转动力件与升降台连接，旋转动力件可驱动升降台轴向旋转。

为了便于驱动升降台运动，所述升降台顶端固定有转板，所述旋转动力件与转板连接；所述升降台底端设置有连接座，所述升降动力件通过连接座与升降台连接，升降台与连接座之间设置有轴承。

为了对定位台上的陶瓷盘精确定位，所述定位台周围设置有用于定位陶瓷盘的定位组件；作为优选，所述定位组件包括推送动力件及推板，所述推送动力件可驱动推板平移，所述推板侧部开设有与陶瓷盘边缘相对应的弧形槽。

本实用新型的有益效果是：该陶瓷盘等分旋转机构通过等分旋转组件与定位组件相配合，定位准确可靠，可以实现陶瓷盘等分旋转，从而可以均匀地在陶瓷盘上贴合晶圆片，保证贴片的质量。

附图说明

图1为本实用新型的陶瓷盘等分旋转机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型的等分旋转组件去除定位台后的结构示意图；

图3为本实用新型的定位组件的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1、图2所示的一种陶瓷盘等分旋转机构，包括工作台1及设置在工作台1上的等分旋转组件，所述等分旋转组件包括升降动力件3、升降台4、旋转动力件6及定位台2，所述定位台2固定在工作台1上，定位台2中心具有通孔，所述升降动力件3与升降台4连接，所述升降台4内具有气管9，升降台4顶端上表面具有气孔41，气管9与气孔41连通，升降动力件3可驱动升降台4升降以穿过定位台2的通孔，所述旋转动力件6与升降台4连接，旋转动力件6可驱动升降台4轴向旋转。

如图2所示的等分旋转组件，所述升降台4顶端固定有转板8，所述旋转动力件6与转板8连接；所述升降台4底端设置有连接座7，所述升降动力件3通过连接座7与升降台4连接，升降台4与连接座7之间设置有轴承。