[实用新型]一种硅片的清洗槽

权利要求书

1.一种硅片的清洗槽，包括槽体(1)，其特征在于：所述槽体(1)的顶部固定安装有超声波发生器(2)，所述槽体(1)的右侧固定连接有排液口(3)，所述排液口(3)的顶部固定安装有控制阀(4)，所述槽体(1)的内部固定连接有挡板(5)，所述挡板(5)的顶部放置有硅片放置板(6)，所述硅片放置板(6)的顶部设置有卡槽(7)，所述硅片放置板(6)顶部的右侧固定连接有侧板(8)，所述卡槽(7)的内部卡接有硅片(9)，所述槽体(1)的左侧固定连接有溢流管(10)，所述槽体(1)的右侧固定安装有干燥室(11)，所述干燥室(11)的内壁的右侧固定安装有加热板(12)，所述加热板(12)的左侧固定连接有电热片(13)，所述干燥室(11)的左侧固定安装有风机(14)，所述槽体(1)的顶部铰接有顶板(15)，所述顶板(15)的中部固定套接有输液管(16)，所述输液管(16)的底部固定连接有分液管(17)，所述分液管(17)的底部固定安装有高压喷头(18)，所述分液管(17)的顶部固定连接有固定块(19)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片的清洗槽，其特征在于：所述超声波发生器(2)的数量为两个且以槽体(1)的中心线为对称轴对称分布。

3.根据权利要求1所述的一种硅片的清洗槽，其特征在于：所述溢流管(10)的高度低于风机(14)的高度。

4.根据权利要求1所述的一种硅片的清洗槽，其特征在于：所述硅片放置板(6)顶部的卡槽(7)的数量为十五个且每个卡槽(7)内并排放置有两个硅片(9)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片的清洗槽，其特征在于：所述固定块(19)的数量为两个且分别位于分液管(17)的两端，所述固定块(19)的顶部与顶板(15)的底部固定连接。