[实用新型]一种高效单晶制绒设备

权利要求书

1.一种高效单晶制绒设备，其特征在于：包括按硅片输送方向依次连接的上料装置(1)、超声清洗槽(2)、水槽A(3)、单晶碱制绒槽(4)、水槽B(5)、酸制绒槽(6)、水槽C(7)、酸洗去银槽(8)、水槽D(9)、酸洗修饰槽(10)、水槽E(11)、碱洗槽(12)、水槽F(13)、酸洗槽(14)、水槽G(15)、慢提拉槽(16)、下料装置(17)，所述超声清洗槽(2)提供含NaOH和H₂O₂的混合液A，所述单晶碱制绒槽(4)提供含NaOH和单晶硅制绒添加剂的混合液B，所述酸制绒槽(6)提供含HF、HNO₃、AgNO₃的混合液C，所述酸洗去银槽(8)提供含HNO₃的溶液D，所述酸洗修饰槽(10)提供含HF和HNO₃的混合液E，所述碱洗槽(12)提供含KOH的溶液F，所述酸洗槽(14)提供含HCl和HF的混合液G。

2.根据权利要求1所述的高效单晶制绒设备，其特征在于：还包括传送硅片的机械臂抓手(18)。

3.根据权利要求1所述的高效单晶制绒设备，其特征在于：所述超声清洗槽(2)、水槽A(3)、单晶碱制绒槽(4)、水槽B(5)、酸制绒槽(6)、酸洗去银槽(8)、酸洗修饰槽(10)、碱洗槽(12)、酸洗槽(14)、慢提拉槽(16)的槽体上均安装有加热装置、温度检测仪，控制槽体内的液体温度。

4.根据权利要求1所述的高效单晶制绒设备，其特征在于：所述超声清洗槽(2)、单晶碱制绒槽(4)、酸制绒槽(6)、酸洗去银槽(8)、酸洗修饰槽(10)、碱洗槽(12)、酸洗槽(14)的槽体中在液位上方均设有排风装置。

5.根据权利要求1所述的高效单晶制绒设备，其特征在于：所述超声清洗槽(2)、水槽A(3)的槽体上均安装有超声波发生器。

6.根据权利要求1所述的高效单晶制绒设备，其特征在于：所述酸洗去银槽(8)设置至少两个独立的，每个槽体上均设置有溢流口，后一个槽体中酸洗后的液体通过其上的溢流口进入前一个槽体中，第一个槽体中酸洗后的液体通过其上的溢流口溢流出其槽体外。

7.根据权利要求1所述的高效单晶制绒设备，其特征在于：所述酸制绒槽(6)、酸洗修饰槽(10)均配有外设的热交换器和冰水机，槽体内的液体与所述冰水机通过所述热交换器进行热量交换。

8.根据权利要求1所述的高效单晶制绒设备，其特征在于：所述上料装置(1)上设置有计数检测器。

9.根据权利要求1～8任一所述的高效单晶制绒设备，其特征在于：所述设备通过PLC控制运行。