[实用新型]一种高效单晶制绒设备

说明书

本实用新型公开了一种高效单晶制绒设备，包括按硅片输送方向依次连接的上料装置、超声清洗槽、水槽A、单晶碱制绒槽、水槽B、酸制绒槽、水槽C、酸洗去银槽、水槽D、酸洗修饰槽、水槽E、碱洗槽、水槽F、酸洗槽、水槽G、慢提拉槽、下料装置。本实用新型的优点是：本实用新型的制绒设备为通过碱制绒与酸制绒结合的方式进行制绒的工艺提供了可实现的制绒设备，形成绒面均匀且反射率低的绒面，具有良好的制绒效果，且可提升电池片的电性能和外观，可在传统单晶制绒设备上进行改造，生产效率高、自动化程度高、环保，有效实现制绒工艺过程，为准单晶电池片的生产提供了有效途径。

技术领域

本实用新型涉及太阳能多晶硅电池制造，特别是一种单晶制绒设备。

背景技术

目前，光伏行业单晶电池片迎来新的发展契机，各大电池厂纷纷投入单晶路线改造，在单晶电池片生产过程中，第一步工艺过程为单晶制绒，单晶制绒主要作用是去除硅片表面脏污和损伤层，在硅片表面形成具有显光效果的低反射率优质绒面，以提高电池片的效率。

现阶段单晶制绒主要是常规的碱制绒，利用硅片在碱溶液中的各向异性，即硅晶体中的(111)晶面腐蚀速率最慢、(100)面腐蚀最快，因而通过碱溶液的腐蚀后，形成了特殊的金字塔结构。单晶硅片采用碱制绒方式制作绒面，这个化学反应存在局限性，当绒面表面的金字塔较大时，反射率较大，则会影响电池片的效率；当绒面表面的金字塔较小时，反射率虽然变小，但造成绒面的均匀性差，绒面的均匀性直接影响了硅片的镀膜效果、PN结的均匀性和电池片的光谱响应，因此如何提升绒面的均匀性，同时降低反射率成为了目前的技术瓶颈。

另一方面，现有的单晶制绒机只能进行碱制绒，存在局限性，并且该方法制备的单晶绒面不易控制，易产生硅片表面的绒面过大(即硅片的反射率偏高)或绒面不均匀的问题，影响电池片转化效率和外观，尤其在准单晶硅片制绒方面，其缺陷更加凸显。若只用碱制绒进行准单晶制绒，其外观的均匀性差异较明显，尤其是对准单晶硅片表面瑕疵的掩盖较差。

目前，准单晶凭借其成本优势迅速发展，因此，迫切需求能够制作优质绒面的单晶制绒设备，从而制备低成本、高效美观的电池片。

实用新型内容

实用新型目的：针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种单晶制绒设备，提高制绒效果，特别是能够适用于准单晶制绒，提升电池片性能和外观。

技术方案：一种高效单晶制绒设备，包括按硅片输送方向依次连接的上料装置、超声清洗槽、水槽A、单晶碱制绒槽、水槽B、酸制绒槽、水槽C、酸洗去银槽、水槽D、酸洗修饰槽、水槽E、碱洗槽、水槽F、酸洗槽、水槽G、慢提拉槽、下料装置，所述超声清洗槽提供含NaOH和H₂O₂的混合液A，所述单晶碱制绒槽提供含NaOH和单晶硅制绒添加剂的混合液B，所述酸制绒槽提供含HF、HNO₃、AgNO₃的混合液C，所述酸洗去银槽提供含HNO₃的溶液D，所述酸洗修饰槽提供含HF和HNO₃的混合液E，所述碱洗槽提供含KOH的溶液F，所述酸洗槽提供含HCl和HF的混合液G。

进一步的，还包括传送硅片的机械臂抓手。

进一步的，所述超声清洗槽、水槽A、单晶碱制绒槽、水槽B、酸制绒槽、酸洗去银槽、酸洗修饰槽、碱洗槽、酸洗槽、慢提拉槽的槽体上均安装有加热装置、温度检测仪，控制槽体内的液体温度。

进一步的，所述超声清洗槽、单晶碱制绒槽、酸制绒槽、酸洗去银槽、酸洗修饰槽、碱洗槽、酸洗槽的槽体中在液位上方均设有排风装置。

进一步的，所述超声清洗槽、水槽A的槽体上均安装有超声波发生器。

进一步的，所述酸洗去银槽设置至少两个独立的，每个槽体上均设置有溢流口，后一个槽体中酸洗后的液体通过其上的溢流口进入前一个槽体中，第一个槽体中酸洗后的液体通过其上的溢流口溢流出其槽体外。