[实用新型]一种用于加工单晶硅棒的滚磨机

权利要求书

1.一种用于加工单晶硅棒的滚磨机，包括机身(1)、可左右滑动安装在机身(1)上的工作台(2)、布置在工作台(2)一侧的滚磨装置以及安装在工作台(2)两端的驱动台(3)和固定架(4)，其特征在于：所述驱动台(3)上的输出轴和固定架(4)上均安装有固定装置，两个所述固定装置之间抵紧安装有工件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种用于加工单晶硅棒的滚磨机，其特征在于，所述固定装置包括安装盘(6)以及固定在安装盘(6)一侧的抵紧外板(12)，所述安装盘(6)的内部开设有内腔(18)，所述内腔(18)远离抵紧外板(12)的一侧中心开设有贯穿槽(17)，所述内腔(18)中部布置有预紧板(11)，所述预紧板(11)的外侧环面上连接有若干个周向布置的弹片(16)，所述弹片(16)的外侧抵紧在内腔(18)的环面上，所述预紧板(11)的一侧中心安装有轴套(10)，所述轴套(10)远离预紧板(11)的一端贯穿贯穿槽(17)延伸至外部，所述轴套(10)远离预紧板(11)的一端通过预紧弹簧(9)滑动安装有滑套(13)，所述滑套(13)的外侧安装有法兰(5)。

3.根据权利要求2所述的一种用于加工单晶硅棒的滚磨机，其特征在于，所述轴套(10)的外径小于贯穿槽(17)的直径。

4.根据权利要求3所述的一种用于加工单晶硅棒的滚磨机，其特征在于，所述轴套(10)和预紧板(11)的内部开设有阶梯孔，所述阶梯孔的内部左右滑动安装有阶梯轴，所述阶梯轴包括通过压缩弹簧(14)左右滑动安装在轴套(10)内部的内轴(8)以及固定安装在内轴(8)一端的抵紧内板(15)，所述抵紧内板(15)布置在预紧板(11)的内部，所述抵紧内板(15)与内腔(18)之间留有间隙，内轴(8)与法兰(5)外侧端面之间留有间隙。

5.根据权利要求4所述的一种用于加工单晶硅棒的滚磨机，其特征在于，所述抵紧内板(15)远离内轴(8)的一侧面和抵紧外板(12)远离预紧板(11)的一侧面均为摩擦面。