[实用新型]一种用于加工单晶硅棒的滚磨机

说明书

本实用新型公开了一种用于加工单晶硅棒的滚磨机，包括机身、可左右滑动安装在机身上的工作台、布置在工作台一侧的滚磨装置以及安装在工作台两端的驱动台和固定架，所述驱动台上的输出轴和固定架上均安装有固定装置，两个所述固定装置之间抵紧安装有工件。本实用新型可实现工件可轻易放置在两个固定装置之间，并通过固定架的挤压力将工件完全固定，本装置安装方便、装夹简单可大大提高工作效率。

技术领域

本实用新型属于滚磨机技术领域，具体涉及一种用于加工单晶硅棒的滚磨机。

背景技术

单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自被人们发现和利用后很快替代其它半导体材料。需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工。

其中滚磨的目的是利用砂轮将截面为不规整的单晶硅棒打磨成截面为圆形的单晶硅棒，现如今常用的安装方法为人工校对工件中心，需要反复两手托举对中，效率低下，安装不便，工作效率低下，为此，急需一种用于硅棒的定位工装。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种用于加工单晶硅棒的滚磨机，可实现安装方便、可调节工件轴心的滚磨机。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于加工单晶硅棒的滚磨机，包括机身、可左右滑动安装在机身上的工作台、布置在工作台一侧的滚磨装置以及安装在工作台两端的驱动台和固定架，所述驱动台上的输出轴和固定架上均安装有固定装置，两个所述固定装置之间抵紧安装有工件。

优选地，所述固定装置包括安装盘以及固定在安装盘一侧的抵紧外板，所述安装盘的内部开设有内腔，所述内腔远离抵紧外板的一侧中心开设有贯穿槽，所述内腔中部布置有预紧板，所述预紧板的外侧环面上连接有若干个周向布置的弹片，所述弹片的外侧抵紧在内腔的环面上，所述预紧板的一侧中心安装有轴套，所述轴套远离预紧板的一端贯穿贯穿槽延伸至外部，所述轴套远离预紧板的一端通过预紧弹簧滑动安装有滑套，所述滑套的外侧安装有法兰。

优选地，所述轴套的外径小于贯穿槽的直径。

优选地，所述轴套和预紧板的内部开设有阶梯孔，所述阶梯孔的内部左右滑动安装有阶梯轴，所述阶梯轴包括通过压缩弹簧左右滑动安装在轴套内部的内轴以及固定安装在内轴一端的抵紧内板，所述抵紧内板布置在预紧板的内部，所述抵紧内板与内腔之间留有间隙，内轴与法兰外侧端面之间留有间隙。

优选地，所述抵紧内板远离内轴的一侧面和抵紧外板远离预紧板的一侧面均为摩擦面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

(1)、本实用新型通过在驱动台和固定架上均安装有固定装置，可实现工件可轻易放置在两个固定装置之间，并通过固定架的挤压力将工件完全固定，本装置安装方便、装夹简单可大大提高工作效率；

(2)、本实用新型通过在轴套与滑套之间通过预紧弹簧连接，实现了在为完全抵紧之前可通过预紧弹簧的弹力将工件预紧固定，且在预紧固定的过程中工件可跟随安装盘移动用于对其工件的中心；

(3)、本实用新型通过阶梯轴可左右滑动，且抵紧外板与抵紧内板的侧面均设有摩擦面，实现了压紧阶梯轴后可将工件完全固定，并对工件进行加工。

附图说明

图1为本实用新型的俯视结构示意图；

图2为本实用新型工件与两端固定装置的连接结构示意图；

图3为本实用新型固定装置的内部剖视图；

图4为本实用新型图3中的A-A处剖视图；

图5为本实用新型固定装置的爆炸图。

附图标记说明：