[实用新型]一种全新的物理气相沉积铝腔体配件装置有效
| 申请号： | 201921328671.5 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN210394499U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘祥超 | 申请（专利权）人： | 上海知昊电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 赵登阳 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全新 物理 沉积 铝腔体 配件 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种全新的物理气相沉积铝腔体配件装置，包括旋拧工件、金属内筒(9)和金属外筒(6)，其特征在于，所述金属内筒(9)一侧设有环形凸沿部，且环形凸沿部一边沿轴向开设有连通金属内筒(9)的第一穿孔(8)，所述金属内筒(9)外壁设有外螺纹部(7)，所述金属外筒(6)内壁设有与外螺纹部(7)规格相适配的内螺纹部(5)，所述金属外筒(6)一端开有第二穿孔(4)，所述旋拧工件包括卡盘(3)，且卡盘(3)一侧设有阶梯槽(10)，所述卡盘(3)远离阶梯槽(10)一面中部位置处螺接有支杆(2)，且支杆(2)远离卡盘(3)一端焊接有旋杆(1)。
2.根据权利要求1所述的一种全新的物理气相沉积铝腔体配件装置，其特征在于，所述金属外筒(6)为多棱柱型结构。
3.根据权利要求2所述的一种全新的物理气相沉积铝腔体配件装置，其特征在于，所述阶梯槽(10)规格与金属外筒(6)相适配。
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