[实用新型]一种光刻机的投影物镜镜头

权利要求书

1.一种光刻机的投影物镜镜头，沿光轴从物面到像面依次至少包括：第一透镜(1)、第二透镜(2)、第三透镜(3)、第四透镜(4)、第五透镜(5)、第六透镜(6)、第七透镜(7)以及第八透镜(8)，其特征在于：

所述第一透镜(1)的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；

所述第二透镜(2)的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正；

所述第三透镜(3)的物面侧为凸面，像面侧为凸面，其光焦度为正；

所述第四透镜(4)的物面侧为平面，像面侧为凹面，其光焦度为负；

所述第五透镜(5)的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；

所述第六透镜(6)的物面侧为凹面，像面侧为凹面，其光焦度为负；

所述第七透镜(7)的物面侧为凹面，像面侧为凸面，其光焦度为正；

所述第八透镜(8)的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的投影物镜镜头，其特征在于：该投影物镜镜头的各透镜焦度满足如下条件：

所述第一透镜(1)焦距为100～110mm；

所述第二透镜(2)焦距为60～70mm；

所述第三透镜(3)焦距为0～105mm；

所述第四透镜(4)焦距为-25～-40mm；

所述第五透镜(5)焦距为60～70mm；

所述第六透镜(6)焦距为-25～-35mm；

所述第七透镜(7)焦距为88～100mm；

所述第八透镜(8)焦距为210～250mm。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机的投影物镜镜头，其特征在于：所述投影物镜镜头的光阑(9)位于所述第四透镜(4)与所述第五透镜(5)之间，靠近所述第五透镜(5)的物面侧。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机的投影物镜镜头，其特征在于：该投影物镜镜头的各透镜厚度满足如下条件：

所述第一透镜(1)的厚度为5.6～6.0mm；

所述第二透镜(2)的厚度为8.2～8.9mm；

所述第三透镜(3)的厚度为7.5～8.1mm；

所述第四透镜(4)的厚度为7.1～7.5mm；

所述第五透镜(5)的厚度为3.1～3.5mm；

所述第六透镜(6)的厚度为5.0～5.5mm；

所述第七透镜(7)的厚度为11.4～11.8mm；

所述第八透镜(8)的厚度为7.3～7.9mm。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机的投影物镜镜头，其特征在于：该投影物镜镜头的折射率满足如下条件：

1.6Nd11.7；

1.6Nd21.7；

1.6Nd31.7；

1.6Nd41.7；

1.7Nd51.8；

1.6Nd61.7；

1.6Nd71.7；

1.7Nd81.8；

其中，Nd1为所述第一透镜(1)的折射率，Nd2为所述第二透镜(2)的折射率，Nd3为所述第三透镜(3)的折射率，Nd4为所述第四透镜(4)的折射率，Nd5为所述第五透镜(5)的折射率，Nd6为所述第六透镜(6)的折射率，Nd7为所述第七透镜(7)的折射率，Nd8为所述第八透镜(8)的折射率。