[实用新型]一种光刻机的投影物镜镜头

说明书

本申请为一种光刻机的投影物镜镜头，沿光轴从物面到像面依次至少包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜以及第八透镜，其中第一透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第二透镜的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正；第三透镜的物面侧为凸面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第四透镜的物面侧为平面，像面侧为凹面，其光焦度为负；第五透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第六透镜的物面侧为凹面，像面侧为凹面，其光焦度为负；第七透镜的物面侧为凹面，像面侧为凸面，其光焦度为正；第八透镜的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正，本申请结构简单精度高。

【技术领域】

本申请为一种投影物镜镜头，尤其涉及一种光刻机的投影物镜镜头。

【背景技术】

随着微纳米加工设备的需求增多，各个厂家可以利用光刻机生产各种形状复杂的产品。通过无掩模光刻机用户根据自己的需求设计相应的图形进行光刻加工，无需先制造掩模版，这样可以节省加工时间及成本，有效提高光刻机的生产效率。无掩模光刻的投影物镜镜头就是影响精度的关键因素，目前市面上的镜头均存在结构复杂、镜片枚数多的问题，而且精度较低。

综上所述，设计一种高精度的光刻机投影物镜镜头为本领域技术人员有待解决的问题。

【实用新型内容】

针对现有技术中投影物物镜镜头精度较低且镜片多结构复杂的问题，本技术方案提供一种能使检测装置移动的镜头检测装置。

为实现上述目的，本技术方案如下：

一种光刻机的投影物镜镜头，沿光轴从物面到像面依次至少包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜以及第八透镜，其中

所述第一透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；

所述第二透镜的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正；

所述第三透镜的物面侧为凸面，像面侧为凸面，其光焦度为正；

所述第四透镜的物面侧为平面，像面侧为凹面，其光焦度为负；

所述第五透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面，其光焦度为正；

所述第六透镜的物面侧为凹面，像面侧为凹面，其光焦度为负；

所述第七透镜的物面侧为凹面，像面侧为凸面，其光焦度为正；

所述第八透镜的物面侧为凸面，像面侧为平面，其光焦度为正。

进一步的，该投影物镜镜头的各透镜焦度满足如下条件：

所述第一透镜焦距为100～110mm；

所述第二透镜焦距为60～70mm；

所述第三透镜焦距为0～105mm；

所述第四透镜焦距为-25～-40mm；

所述第五透镜焦距为60～70mm；

所述第六透镜焦距为-25～-35mm；

所述第七透镜焦距为88～100mm；

所述第八透镜焦距为210～250mm。

进一步的，所述投影物镜镜头的光阑位于所述第四透镜与所述第五透镜之间，靠近所述第五透镜的物面侧。

进一步的，该投影物镜镜头的各透镜厚度满足如下条件：

所述第一透镜的厚度为5.6～6.0mm；

所述第二透镜的厚度为8.2～8.9mm；