[实用新型]一种掩膜板清洗装置有效

专利信息
申请号: 201921340927.4 申请日: 2019-08-19
公开(公告)号: CN210666330U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 张明 申请(专利权)人: 深圳市海博源光电科技有限公司
主分类号: G03F1/82 分类号: G03F1/82
代理公司: 深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385 代理人: 汪琳琳
地址: 518000 广东省深圳市宝安区西*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 掩膜板 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种掩膜板清洗装置,其特征在于,包括清洗箱(1)、第一清洗槽(2)、第二清洗槽(3)、第三清洗槽(4)以及第四清洗槽(5),所述第一清洗槽(2)、第二清洗槽(3)、第三清洗槽(4)以及第四清洗槽(5)内部均设有超声波发生器(6),且内部具有清洗液,所述第四清洗槽(5)内部具有摆动清洗结构,所述清洗箱(1)上具有夹取结构;

其中,所述夹取结构包括:安装架(7)、移动机(8)、移动板(9)、电动杆(10)、夹取架(11)以及四个倒钩架(12);

所述安装架(7)安置于清洗箱(1)上,移动机(8)装配在安装架(7)上,移动板(9)与移动机(8)的移动端连接,电动杆(10)垂直固定在移动板(9)上,夹取架(11)与电动杆(10)伸缩端连接,所述四个倒钩架(12)固定在夹取架(11)底部;

所述摆动清洗结构包括:电机(13)、清洗棒(14)以及清洁刷(15);

所述电机(13)安置于清洗箱(1)内部,且位于第四清洗槽(5)内,清洗棒(14)与电机(13)的驱动端连接,清洁刷(15)与清洗棒(14)连接。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置,其特征在于,所述移动机(8)为直线模组平移台,且电性连接继电器。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置,其特征在于,所述电动杆(10)为电动式推杆或伸缩电机。

4.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置,其特征在于,所述电机(13)采用防水电机,且与清洗箱(1)之间具有固定架(18)。

5.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置,其特征在于,所述清洗箱(1)底部具有四个支撑体(16);该支撑体(16)对清洗箱(1)进行支撑。

6.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置,其特征在于,所述电动杆(10)与移动板(9)之间设有电机架(17);该电机架(17)对电动杆(10)固定。

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