[实用新型]一种掩膜板清洗装置有效
申请号: | 201921340927.4 | 申请日: | 2019-08-19 |
公开(公告)号: | CN210666330U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 张明 | 申请(专利权)人: | 深圳市海博源光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F1/82 | 分类号: | G03F1/82 |
代理公司: | 深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385 | 代理人: | 汪琳琳 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区西*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜板 清洗 装置 | ||
1.一种掩膜板清洗装置,其特征在于,包括清洗箱(1)、第一清洗槽(2)、第二清洗槽(3)、第三清洗槽(4)以及第四清洗槽(5),所述第一清洗槽(2)、第二清洗槽(3)、第三清洗槽(4)以及第四清洗槽(5)内部均设有超声波发生器(6),且内部具有清洗液,所述第四清洗槽(5)内部具有摆动清洗结构,所述清洗箱(1)上具有夹取结构;
其中,所述夹取结构包括:安装架(7)、移动机(8)、移动板(9)、电动杆(10)、夹取架(11)以及四个倒钩架(12);
所述安装架(7)安置于清洗箱(1)上,移动机(8)装配在安装架(7)上,移动板(9)与移动机(8)的移动端连接,电动杆(10)垂直固定在移动板(9)上,夹取架(11)与电动杆(10)伸缩端连接,所述四个倒钩架(12)固定在夹取架(11)底部;
所述摆动清洗结构包括:电机(13)、清洗棒(14)以及清洁刷(15);
所述电机(13)安置于清洗箱(1)内部,且位于第四清洗槽(5)内,清洗棒(14)与电机(13)的驱动端连接,清洁刷(15)与清洗棒(14)连接。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置,其特征在于,所述移动机(8)为直线模组平移台,且电性连接继电器。
3.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置,其特征在于,所述电动杆(10)为电动式推杆或伸缩电机。
4.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置,其特征在于,所述电机(13)采用防水电机,且与清洗箱(1)之间具有固定架(18)。
5.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置,其特征在于,所述清洗箱(1)底部具有四个支撑体(16);该支撑体(16)对清洗箱(1)进行支撑。
6.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置,其特征在于,所述电动杆(10)与移动板(9)之间设有电机架(17);该电机架(17)对电动杆(10)固定。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备