[实用新型]一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置，包括工作台（9）和垂直移动系统（8），其特征在于，所述工作台（9）的顶部通过粘接固定有玻璃外套管（2），所述玻璃外套管（2）的顶端连接有出气金属连接器（1），所述垂直移动系统（8）的顶端穿过工作台（9）活动连接在玻璃外套管（2）的内部，所述垂直移动系统（8）的顶端位于玻璃外套管（2）的内部固定有反应容器（7），所述反应容器（7）的顶部中心处通过玻璃烧结工艺形成圆锥形小孔（11），所述反应容器（7）的外侧套接固定有加热系统（3），所述工作台（9）上位于垂直移动系统（8）的一侧设置有与玻璃外套管（2）连通的进气金属连接器（10）。

2.根据权利要求1所述的一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置，其特征在于，所述加热系统（3）包括有第一电热丝（4）、第二电热丝（5）、第三电热丝（6）、第三接头（12）、第二接头（13）、第一接头（14）和玻璃内套管（15），所述玻璃内套管（15）套接固定在反应容器（7）的外侧，所述玻璃内套管（15）上等距离缠绕有第一电热丝（4）、第二电热丝（5）和第三电热丝（6），所述第一电热丝（4）与玻璃外套管（2）上的第一接头（14）连接，所述第二电热丝（5）与玻璃外套管（2）上的第二接头（13）连接，所述第三电热丝（6）与玻璃外套管（2）上的第三接头（12）连接。

3.根据权利要求2所述的一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置，其特征在于，所述玻璃内套管（15）为一种两端开口的玻璃管，且玻璃内套管（15）的内径略大于内部反应容器（7）的外径。

4.根据权利要求2所述的一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置，其特征在于，所述玻璃内套管（15）的内外层分别包裹绝热绝缘层。

5.根据权利要求1所述的一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置，其特征在于，所述反应容器（7）为一种底部封闭，顶部设有圆锥形小孔（11）的玻璃管。