[实用新型]一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置有效
申请号: | 201921346168.2 | 申请日: | 2019-08-20 |
公开(公告)号: | CN210506515U | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 姜辉 | 申请(专利权)人: | 姜辉 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C30B25/02;C30B29/54 |
代理公司: | 苏州和氏璧知识产权代理事务所(普通合伙) 32390 | 代理人: | 李晓星 |
地址: | 438300 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有机半导体 晶体 多温区 化学 沉积 装置 | ||
本实用新型公开了一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置,包括工作台和垂直移动系统,所述工作台的顶部通过粘接固定有玻璃外套管,所述玻璃外套管的顶端连接有出气金属连接器,所述垂直移动系统的顶端穿过工作台活动连接在玻璃外套管的内部,所述垂直移动系统的顶端位于玻璃外套管的内部固定有反应容器,所述反应容器的顶部中心处通过玻璃烧结工艺形成圆锥形小孔,所述反应容器的外侧套接固定有加热系统,所述工作台上位于垂直移动系统的一侧设置有与玻璃外套管连通的进气金属连接器。本实用新型能有效提升有机固‑固反应的效率和产率,降低系统的制造成本及使用成本,同时对环境友好,实现绿色无污染的有机固‑固反应。
技术领域
本实用新型涉及光电子学及能源技术领域,具体为一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置。
背景技术
相对于传统的无机半导体,有机小分子半导体是一种新型半导体材料,其主要优点包括制造成本低,大面积合成,柔性等。最新研究表明一些有机小分子具有优异的半导体性能,在有机晶体管,有机太阳能电池,有机电池,有机电容器等反面具有广泛的应用前景。例如,含硫有机并苯类小分子在电池应用方面的研究表明,其有希望媲美许多成熟的传统无机电池电极材料,具有大规模应用的潜在优势。
目前,含硫有机并苯类小分子的合成主要集中在实验室,大量有机溶剂的使用,尤其一些有毒试剂的使用使得合成成本较高,同时,实验室量级的合成产率较低,产量很少,纯度较低,无法满足潜在商用的要求。化学气相沉积是一种材料制备装置,它能实现原材料在一定的气相状态下升华并发生化学反应,获得目标材料。化学气相沉积能够在无溶剂状态下合成有机并苯类小分子,广泛应用于一些半导体材料的生长,具有有效的重复性和稳定性。其缺点是产率和产量无法控制,成本仍然较高。结果,需要持续改进化学气相沉积系统和方法以获得高产率、高产量、低成本、高纯度有机含硫并苯类小分子材料。因此,设计一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置是很有必要的。
实用新型内容
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置,该装置能有效提升有机固-固反应的效率和产率,降低系统的制造成本及使用成本,同时对环境友好,实现绿色无污染的有机固-固反应。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置,包括工作台和垂直移动系统,所述工作台的顶部通过粘接固定有玻璃外套管,所述玻璃外套管的顶端连接有出气金属连接器,所述垂直移动系统的顶端穿过工作台活动连接在玻璃外套管的内部,所述垂直移动系统的顶端位于玻璃外套管的内部固定有反应容器,所述反应容器的顶部中心处通过玻璃烧结工艺形成圆锥形小孔,所述反应容器的外侧套接固定有加热系统,所述工作台上位于垂直移动系统的一侧设置有与玻璃外套管连通的进气金属连接器。
优选的,所述加热系统包括有第一电热丝、第二电热丝、第三电热丝、第三接头、第二接头、第一接头和玻璃内套管,所述玻璃内套管套接固定在反应容器的外侧,所述玻璃内套管上等距离缠绕有第一电热丝、第二电热丝和第三电热丝,所述第一电热丝与玻璃外套管上的第一接头连接,所述第二电热丝与玻璃外套管上的第二接头连接,所述第三电热丝与玻璃外套管上的第三接头连接。
优选的,所述玻璃内套管为一种两端开口的玻璃管,且玻璃内套管的内径略大于内部反应容器的外径。
优选的,所述玻璃内套管的内外层分别包裹绝热绝缘层。
优选的,所述反应容器为一种底部封闭,顶部设有圆锥形小孔的玻璃管。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的