[实用新型]一种光轴导向的两轴联动十字滑台

权利要求书

1.一种光轴导向的两轴联动十字滑台，其特征在于：包括X轴组件(1)和Y轴组件(2)，所述X轴组件通过X轴气浮直线轴承(1-103)与Y轴导轨座(2-202)固定连接，

所述X轴组件(1)包括X轴光轴固定座(1-101)、X轴光轴(1-102)、X轴气浮直线轴承(1-103)、X轴位置读数传感器(1-104)、X轴光栅尺(1-105)、X轴直线电机初级(1-106)、X轴缓冲器(1-107)、X轴撞块(1-108)、X轴直线电机次级(1-109)、X轴导轨座(1-111)、X轴限位开关传感器(1-112)，

所述X轴导轨座(1-111)的两侧均设有一根X轴光轴(1-102)，每根所述X轴光轴(1-102)分别穿插在所述X轴气浮直线轴承(1-103)的中心孔内，当X轴气浮直线轴承(1-103)通过压缩空气后X轴光轴(1-102)与其实现零接触滑动联结，每根所述X轴光轴(1-102)通过X轴光轴固定座(1-101)与X轴导轨座(1-111)的一侧通过螺钉固定连接，所述X轴气浮直线轴承(1-103)通过螺钉与Y轴溜板(2-201)固定连接，所述X轴位置读数传感器(1-104)、X轴限位开关传感器(1-112)固定安装在X轴导轨座(1-111)内，X轴光栅尺(1-105)粘贴固定在X轴光栅尺座上，X轴光栅尺座上端通过螺钉固定安装在Y轴导轨座(2-202)上，X轴位置读数传感器(1-104)通过感应X轴光栅尺(1-105)反馈当前X轴所在的具体位置，X轴限位开关传感器(1-112)通过感应光栅尺座的极限位置反馈给控制系统，所述X轴直线电机初级(1-106)通过螺钉固定安装在X轴导轨座(1-111)内，X轴直线电机次级(1-109)通过螺钉固定安装在Y轴导轨座(2-202)上；

所述的Y轴组件(2)包括Y轴光轴固定座(2-101)、Y轴光轴(2-102)、Y轴气浮直线轴承、Y轴位置读数传感器(2-104)、Y轴光栅尺(2-105)、Y轴直线电机初级(2-106)、Y轴缓冲器、Y轴撞块(2-108)、Y轴直线电机次级(2-109)、Y轴限位开关传感器、Y轴溜板(2-201)、Y轴导轨座(2-202)以及Y轴防护板(2-203)，

所述Y轴位置读数传感器(2-104)、Y轴限位开关传感器固定安装在Y轴导轨座(2-202)内，Y轴光栅尺(2-105)粘贴固定在光栅尺座上，Y轴光栅尺座上端通过螺钉固定安装在Y轴溜板(2-201)上，所述Y轴位置读数传感器(2-104)通过感应Y轴光栅尺(2-105)反馈当前Y轴所在的具体位置，Y轴限位开关传感器通过感应Y轴光栅尺座的极限位置反馈给控制系统，所述Y轴直线电机初级(2-106)通过螺钉固定安装在Y轴导轨座(2-202)内，Y轴直线电机次级(2-109)通过螺钉固定安装在Y轴溜板(2-201)上。

2.根据权利要求1所述的一种光轴导向的两轴联动十字滑台，其特征在于：所述X轴导轨座(1-111)的两侧对称安装有X轴梳线板(1-110)。

3.根据权利要求1所述的一种光轴导向的两轴联动十字滑台，其特征在于：所述Y轴导轨座(2-202)的两侧对称安装有Y轴梳线板(2-204)。

4.根据权利要求1所述的一种光轴导向的两轴联动十字滑台，其特征在于：所述Y轴溜板(2-201)的两侧固定安装有Y轴溜板梳线槽(2-205)。