[实用新型]一种光轴导向的两轴联动十字滑台

说明书

本实用新型涉及一种超精密的移动定位装置，尤其是一种光轴导向的联动十字滑台。本实用新型采用的技术方案是：一种光轴导向的两轴联动十字滑台，包括X轴组件和Y轴组件，X轴组件通过X轴气浮直线轴承与Y轴导轨座固定连接，X轴组件包括X轴光轴固定座、X轴光轴、X轴气浮直线轴承、X轴位置读数传感器、X轴光栅尺、X轴直线电机初级、X轴直线电机次级、X轴导轨座、X轴限位开关传感器，Y轴组件包括Y轴光轴固定座、Y轴光轴、Y轴气浮直线轴承、Y轴位置读数传感器、Y轴光栅尺、Y轴直线电机初级、Y轴缓冲器、Y轴直线电机次级、Y轴限位开关传感器、Y轴溜板。本实用新型的优点是：可以实现X轴、Y轴的联动，可以实现精确的位置定位。

技术领域

本实用新型涉及一种超精密的移动定位装置，尤其是一种光轴导向的联动十字滑台。

背景技术

随着工业技术的迅速发展，对精密十字滑台的设计和制造要求越来越高，随着伺服控制技术和传感技术的进步，在数控系统的控制下，机床可以执行亚微米级的精确运动。现有的十字滑台还不能达到精密运动的标准，在一定程度上还无法与高速发展的机床相适应，因此，应该提供一种新的技术方案解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是：针对上述不足，提供一种结构合理、使用效果好的光轴导向的两轴联动十字滑台。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种光轴导向的两轴联动十字滑台，包括X轴组件和Y轴组件，所述X轴组件通过X轴气浮直线轴承与Y轴导轨座固定连接，

所述X轴组件包括X轴光轴固定座、X轴光轴、X轴气浮直线轴承、X轴位置读数传感器、X轴光栅尺、X轴直线电机初级、X轴缓冲器、X轴撞块、X轴直线电机次级、X轴导轨座、X轴限位开关传感器，

所述X轴导轨座的两侧均设有一根X轴光轴，每根所述X轴光轴分别穿插在所述X轴气浮直线轴承的中心孔内，当X轴气浮直线轴承通过压缩空气后X轴光轴与其实现零接触滑动联结，每根所述X轴光轴通过X轴光轴固定座与X轴导轨座的一侧通过螺钉固定连接，所述X轴气浮直线轴承通过螺钉与Y轴溜板固定连接，所述X轴位置读数传感器、X轴限位开关传感器固定安装在X轴导轨座内，X轴光栅尺粘贴固定在X轴光栅尺座上，X轴光栅尺座上端通过螺钉固定安装在Y轴导轨座上，X轴位置读数传感器通过感应X轴光栅尺反馈当前X轴所在的具体位置，X轴限位开关传感器通过感应光栅尺座的极限位置反馈给控制系统，所述X轴直线电机初级通过螺钉固定安装在X轴导轨座内，X轴直线电机次级通过螺钉固定安装在Y轴导轨座上；

所述的Y轴组件包括Y轴光轴固定座、Y轴光轴、Y轴气浮直线轴承、Y轴位置读数传感器、Y轴光栅尺、Y轴直线电机初级、Y轴缓冲器、Y轴撞块、Y轴直线电机次级、Y轴限位开关传感器、Y轴溜板、Y轴导轨座以及Y轴防护板，

所述Y轴位置读数传感器、Y轴限位开关传感器固定安装在Y轴导轨座内，Y轴光栅尺粘贴固定在光栅尺座上，Y轴光栅尺座上端通过螺钉固定安装在Y轴溜板上，所述Y轴位置读数传感器通过感应Y轴光栅尺反馈当前Y轴所在的具体位置，Y轴限位开关传感器通过感应Y轴光栅尺座的极限位置反馈给控制系统，所述Y轴直线电机初级通过螺钉固定安装在Y轴导轨座内，Y轴直线电机次级通过螺钉固定安装在Y轴溜板上。

进一步的技术方案是：

所述X轴导轨座的两侧对称安装有X轴梳线板。

所述Y轴导轨座的两侧对称安装有Y轴梳线板。

所述Y轴溜板的两侧固定安装有溜板梳线槽。

由于上述技术方案的应用，本实用新型与现有技术相比具有如下优点：

1、本实用新型的光轴导向的两轴联动十字滑台，结构合理，X轴组件通过气浮直线轴承跟Y轴导轨座固定连接，可以实现X轴、Y轴的联动。