[实用新型]激光刻蚀装置和激光加工系统有效
| 申请号： | 201921348575.7 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN211804404U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 岳国汉 | 申请（专利权）人： | 深圳市牧激科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/064 |
| 代理公司： | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人： | 张小容 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区坂*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 刻蚀 装置 加工 系统 | ||
1.一种激光刻蚀装置，其特征在于，包括：
聚焦场镜；
反射镜组，所述反射镜组设于所述聚焦场镜上方；
若干振镜，若干所述振镜围设于所述反射镜组四周；
若干激光发生器，每一所述激光发生器设于一所述振镜的背离所述反射镜组的一侧，每一所述激光发生器的出射光经过一所述振镜、并经过所述反射镜组和所述聚焦场镜而射出。
2.根据权利要求1所述的激光刻蚀装置，其特征在于，所述反射镜组包括一主反射镜和若干分反射镜，每一所述分反射镜和所述主反射镜沿一所述振镜的出射光传播方向依次设置，用于将该振镜的出射光反射进入所述聚焦场镜。
3.根据权利要求2所述的激光刻蚀装置，其特征在于，定义每一所述振镜的出光口的轴线与一所述分反射镜的夹角为α，满足条件：15°≤α≤45°。
4.根据权利要求3所述的激光刻蚀装置，其特征在于，定义每一所述振镜的出光口的轴线与一所述分反射镜的夹角为α，满足条件：α＝30°。
5.根据权利要求2所述的激光刻蚀装置，其特征在于，所述主反射镜的反射面涂设有金属薄膜；
且/或，所述分反射镜的反射面涂设有金属薄膜。
6.根据权利要求5所述的激光刻蚀装置，其特征在于，所述金属薄膜为铝膜或银膜。
7.根据权利要求1至6任一项所述的激光刻蚀装置，其特征在于，所述振镜的出光口的轴线与所述聚焦场镜的出光口的轴线垂直设置。
8.根据权利要求1至6任一项所述的激光刻蚀装置，其特征在于，所述激光发生器和所述振镜各设置有两件，两件所述振镜的出光口相对设置，所述聚焦场镜设于两件所述振镜之间。
9.根据权利要求8所述的激光刻蚀装置，其特征在于，所述聚焦场镜与每一所述振镜之间的距离相同。
10.一种激光加工系统，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的激光刻蚀装置。
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