[实用新型]激光刻蚀装置和激光加工系统有效
申请号: | 201921348575.7 | 申请日: | 2019-08-16 |
公开(公告)号: | CN211804404U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 岳国汉 | 申请(专利权)人: | 深圳市牧激科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/362 | 分类号: | B23K26/362;B23K26/064 |
代理公司: | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人: | 张小容 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区坂*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 刻蚀 装置 加工 系统 | ||
本实用新型提供了一种激光刻蚀装置和激光加工系统,其中,激光刻蚀装置包括聚焦场镜、反射镜组、若干振镜以及若干激光发生器;所述反射镜组设于所述聚焦场镜上方;若干所述振镜围设于所述反射镜组四周;每一所述激光发生器设于一所述振镜的背离所述反射镜组的一侧,每一所述激光发生器的出射光经过一所述振镜、并经过所述反射镜组和所述聚焦场镜而射出。本实用新型的技术方案提供了一种结构较为简化的激光刻蚀装置。
技术领域
本实用新型涉及刻蚀装置技术领域,特别涉及一种激光刻蚀装置以及应用该激光刻蚀装置的激光加工系统。
背景技术
目前使用的激光刻蚀装置为了提高其加工速度,采用了多激光器多振镜多镜头的独立加工设备,激光发生器、振镜以及透镜组均一一对应,多件激光发生器、多件振镜以及多件透镜组组合后并排安装,多套组合可同时加工,各自负责一定的加工区域,每次加工幅面为单套组合的多倍,加工速度快,工作效率高。但是该设备需要使用多件激光发生器、多件振镜以及多件透镜组的组合,才可提高在同时加工时的加工效率,相当于在一个激光加工系统上设置有两套激光刻蚀装置,结构复杂。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提供一种激光刻蚀装置,旨在提供一种结构较为简化的激光刻蚀装置。
为实现上述目的,本实用新型提出的一种激光刻蚀装置,包括:
聚焦场镜;
反射镜组,所述反射镜组设于所述聚焦场镜上方;
若干振镜,若干所述振镜围设于所述反射镜组四周;
若干激光发生器,每一所述激光发生器设于一所述振镜的背离所述反射镜组的一侧,每一所述激光发生器的出射光经过一所述振镜、并经过所述反射镜组和所述聚焦场镜而射出。
在本实用新型的一实施例中,所述反射镜组包括一主反射镜和若干分反射镜,每一所述分反射镜和所述主反射镜沿一所述振镜的出射光传播方向依次设置,用于将该振镜的出射光反射进入所述聚焦场镜。
在本实用新型的一实施例中,定义每一所述振镜的出光口的轴线与一所述分反射镜的夹角为α,满足条件:15°≤α≤45°。
进一步地,定义每一所述振镜的出光口的轴线与一所述分反射镜的夹角为α,满足条件:α=30°。
在本实用新型的一实施例中,所述主反射镜的反射面涂设有金属薄膜;
且/或,所述分反射镜的反射面涂设有金属薄膜。
进一步地,所述金属薄膜为铝膜或银膜。
在本实用新型的一实施例中,所述振镜的出光口的轴线与所述聚焦场镜的出光口的轴线垂直设置。
在本实用新型的一实施例中,所述激光发生器和所述振镜各设置有两件,两件所述振镜的出光口相对设置,所述聚焦场镜设于两件所述振镜之间。
在本实用新型的一实施例中,所述聚焦场镜与每一所述振镜之间的距离相同。
本实用新型还提出一种激光加工系统,包括如上所述的激光刻蚀装置。
本实用新型提供了一种激光刻蚀装置,该激光刻蚀装置可通过多激光发生器产生多条激光,每一激光对应进入一振镜中,通过若干振镜后的出射光线入射至反射镜组,光线经反射镜组的反射面反射后于同一聚焦场镜进行聚焦,以使多激光聚焦至同一聚焦场镜内,多激光在同一聚焦场镜可形成一条加工激光光束聚焦到工件上,也可形成多条加工激光光束聚焦到工件的不同位置上,也即该装置仅仅通过使用同一聚焦场镜便实现了同时加工同一位置或不同位置、或者分时加工同一位置或不同位置的技术效果,在保证了加工效率的同时简化了该装置的结构。
附图说明
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