[实用新型]一种旋转靶绑定设备有效

专利信息
申请号: 201921362121.5 申请日: 2019-08-21
公开(公告)号: CN210481506U 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 陈明恒 申请(专利权)人: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;B22D19/04
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 李少欢
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 旋转 绑定 设备
【权利要求书】:

1.一种旋转靶绑定设备,其特征在于:包括基座(17),基座(17)安装有振动装置,

基座(17)的安装有工装夹具,工装夹具用于固定旋转靶(10)的尾盖(14)和端头(13),工装夹具包括支架(48)、底座(30)、延长端(40)和固定护套,基座(17)的侧方设置有支架(48),尾盖(14)安装于底座(30),延长端(40)的一端连接于端头(13),固定护套的一侧套装于延长端(40),固定护套的另一侧固定于支架(48),

基座(17)插设有内加热装置(71),内加热装置(71)位于旋转靶(10)的内侧,旋转靶(10)的外侧设置有外加热装置(72),外加热装置(72)设置有多个外加热部,外加热部的一端固定于支架(48),外加热部的另一端与旋转靶(10)的外侧面间隙配合,

绑定设备包括水冷环装置,水冷环装置设置有水冷环和水循环装置,水冷环活动套设于旋转靶(10),水循环装置包括升降机构(51)、循环池(54)和连接水管(52),升降机构(51)安装于旋转靶(10)的上方,水冷环滑动连接于升降机构(51),循环池(54)位于基座(17)的下侧,连接水管(52)的一端连接循环池(54),连接水管(52)的另一端连接水冷环。

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶绑定设备,其特征在于:所述水冷环包括环体(60),环体(60)内设置有中空的储水腔(61),储水腔(61)贯穿于整个环体(60)的内侧,环体(60)的底面设置有多个喷水孔(62),喷水孔(62)连接于储水腔(61),环体(60)的侧面设置有进水部(63),进水部(63)为一中空管体,进水部(63)的一端连接于储水腔(61),进水部(63)的另一端连接所述水循环装置。

3.根据权利要求2所述的一种旋转靶绑定设备,其特征在于:所述环体(60)的底面设置有一喷水面(64),喷水面(64)向环体(60)的顶面方向倾斜设定角度,所述喷水孔(62)设置于喷水面(64),

环体(60)的底面的外侧设置有一间隔面(65),环体(60)的底面内侧设置有喷水面(64),

环体(60)的侧面的相对两侧各设置有升降连接部,升降连接部包括有两个固定片(68),固定片(68)的一端固定连接于环体(60)的侧面,固定片(68)的另一端设置有一升降连接孔(69),

所述水循环装置包括水泵(53),所述连接水管(52)的一端连接所述进水部(63)的端口,连接水管(52)的另一端连接水泵(53)的出水口,水泵(53)的进水口连接所述循环池(54),循环池(54)用于收集并盛装冷却所述旋转靶(10)的液体,所述水冷环滑动于循环池(54)的上方。

4.根据权利要求3所述的一种旋转靶绑定设备,其特征在于:所述喷水面(64)倾斜的设定角度为30°-60°,喷水面(64)的最高位置与所述环体(60)的顶面之间设置有设定1-2cm的距离形成靶体保护面(66),所述间隔面(65)的宽度设置在0.5-1.3cm,

所述喷水孔(62)间隔相等地圆周分布于喷水面(64),喷水孔(62)的直径设置在1-3mm,喷水孔(62)的数量设置在30-50个,

环体(60)的侧面设置有一手握部(67),手握部(67)为圆柱形,手握部(67)的一端固定连接于环体(60)的侧面,手握部(67)的位置与所述进水部(63)的位置相对,

所述升降机构(51)包括所述支架(48),支架(48)的一端固定于地面,另一端安装有滑轮(56),滑轮(56)安装于所述旋转靶(10)的上方,滑轮(56)上安装有链条(57),链条(57)分别穿过所述升降连接孔(69),水冷环滑动安装于滑轮(56)。

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