[实用新型]一种旋转靶绑定设备

说明书

本实用新型公开了一种旋转靶绑定设备，包括基座，基座安装有振动装置，基座的安装有工装夹具，工装夹具用于固定旋转靶的尾盖和端头，工装夹具包括支架、底座、延长端和固定护套，基座的侧方设置有支架，旋转靶的尾盖安装于底座，延长端的一端连接于旋转靶的端头，固定护套的一侧套装于延长端，固定护套的另一侧固定于支架，基座插设有内加热装置，内加热装置位于旋转靶的内侧，旋转靶的外侧设置有外加热装置，外加热装置设置有多个外加热部，外加热部的一端固定于支架，外加热部的另一端与旋转靶的外侧面间隙配合，绑定设备包括水冷环装置。本实用新型的绑定设备，可以一次整体绑定长旋转靶，无需分节处理，加快冷却时间，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及旋转靶绑定技术领域，尤其是涉及一种旋转靶绑定设备。

背景技术

旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕固定的条状磁铁组件旋转，可360度均匀刻蚀靶面，具有利用率高，镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点。

旋转靶材的传统绑定方法是将直径较大的圆筒状靶材套在直径相对较小的背管上，并在两者之间注入融合的金属铟，待冷却后，使得旋转靶材和背管通过凝固的铟连接成为一体，达到绑定的目的。传统的绑定方法将旋转靶材分多段依次绑定，该种绑定方法需要在前一段绑定的旋转靶材冷却后才能进行下一段旋转靶材的绑定，绑定时间长，生产效率低，且旋转靶材之间的连接端口多，容易在焊接过程中端口变形而出现绑定层焊料的渗漏，绑定层焊料在超声波或其他振动设备的作用下，绑定层焊料内的气泡或轻渣集中在连接端口处，使连接端口处的焊接效果差。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种旋转靶绑定设备，可以一次整体绑定长旋转靶，无需分节处理，加快冷却时间，提高生产效率。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种旋转靶绑定设备，包括基座，基座安装有振动装置，基座的安装有工装夹具，工装夹具用于固定旋转靶的尾盖和端头，工装夹具包括支架、底座、延长端和固定护套，基座的侧方设置有支架，旋转靶的尾盖安装于底座，延长端的一端连接于旋转靶的端头，固定护套的一侧套装于延长端，固定护套的另一侧固定于支架，基座插设有内加热装置，内加热装置位于旋转靶的内侧，旋转靶的外侧设置有外加热装置，外加热装置设置有多个外加热部，外加热部的一端固定于支架，外加热部的另一端与旋转靶的外侧面间隙配合，绑定设备包括水冷环装置，水冷环装置设置有水冷环和水循环装置，水冷环活动套设于旋转靶，水循环装置包括升降机构、循环池和连接水管，升降机构安装于旋转靶的上方，水冷环滑动连接于升降机构，循环池位于基座的下侧，连接水管的一端连接循环池，连接水管的另一端连接水冷环。

进一步的技术方案中，所述水冷环包括环体，环体内设置有中空的储水腔，储水腔贯穿于整个环体的内侧，环体的底面设置有多个喷水孔，喷水孔连接于储水腔，环体的侧面设置有进水部，进水部为一中空管体，进水部的一端连接于储水腔，进水部的另一端连接所述水循环装置。

进一步的技术方案中，所述环体的底面设置有一喷水面，喷水面向环体的顶面方向倾斜设定角度，所述喷水孔设置于喷水面，环体的底面的外侧设置有一间隔面，环体的底面内侧设置有喷水面，环体的侧面的相对两侧各设置有升降连接部，升降连接部包括有两个固定片，固定片的一端固定连接于环体的侧面，固定片的另一端设置有一升降连接孔，所述水循环装置包括水泵，所述连接水管的一端连接所述进水部的端口，连接水管的另一端连接水泵的出水口，水泵的进水口连接所述循环池，循环池用于收集并盛装冷却所述旋转靶的液体，所述水冷环滑动于循环池的上方。