[实用新型]一种用于旋转靶绑定的水冷环装置有效
申请号: | 201921362149.9 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN210796610U | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 陈明恒 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;F25D17/02 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李少欢 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 旋转 绑定 水冷 装置 | ||
1.一种用于旋转靶绑定的水冷环装置,其特征在于:包括水循环装置和水冷环,水冷环包括环体(60),环体(60)内设置有中空的储水腔(61),储水腔(61)贯穿于整个环体(60)的内侧,环体(60)的底面设置有多个喷水孔(62),喷水孔(62)连接于储水腔(61),环体(60)的侧面设置有进水部(63),进水部(63)为一中空管体,进水部(63)的一端连接于储水腔(61),进水部(63)的另一端连接水循环装置。
2.根据权利要求1所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置,其特征在于:所述环体(60)的底面设置有一喷水面(64),喷水面(64)向环体(60)的顶面方向倾斜设定角度,所述喷水孔(62)设置于喷水面(64)。
3.根据权利要求2所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置,其特征在于:所述环体(60)的底面的外侧设置有一间隔面(65),环体(60)的底面内侧设置有所述喷水面(64),间隔面(65)和喷水面(64)组成环体(60)的底面。
4.根据权利要求3所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置,其特征在于:所述喷水面(64)倾斜的设定角度为30-60度,喷水面(64)的最高位置与所述环体(60)的顶面之间设置有设定1-2cm的距离形成靶体保护面(66),所述间隔面(65)的宽度设置在0.5-1.3cm。
5.根据权利要求2所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置,其特征在于:所述喷水孔(62)间隔相等地圆周分布于所述喷水面(64),喷水孔(62)的直径设置在1-3mm,喷水孔(62)的数量设置在30-50个。
6.根据权利要求1所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置,其特征在于:所述环体(60)的侧面设置有一手握部(67),手握部(67)为一圆柱形,手握部(67)的一端固定连接于环体(60)的侧面,手握部(67)的位置与所述进水部(63)的位置相对。
7.根据权利要求1所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置,其特征在于:所述环体(60)的侧面的相对两侧各设置有升降连接部,升降连接部包括有两个固定片(68),固定片(68)的一端固定连接于环体(60)的侧面,固定片(68)的另一端设置有一升降连接孔(69)。
8.根据权利要求7所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置,其特征在于:所述水循环装置包括升降机构(51)、连接水管(52)、水泵(53)和循环池(54),连接水管(52)的一端连接所述进水部(63)的端口,连接水管(52)的另一端连接水泵(53)的出水口,水泵(53)的进水口连接循环池(54),循环池(54)用于收集并盛装冷却旋转靶(10)的液体,升降机构(51)连接于所述水冷环,水冷环滑动于循环池(54)的上方。
9.根据权利要求8所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置,其特征在于:所述升降机构(51)包括支架(48),支架(48)的一端固定于地面,另一端安装有滑轮(56),滑轮(56)安装于所述旋转靶(10)的上方,滑轮(56)上安装有链条(57),链条(57)分别穿过所述水冷环两侧的所述升降连接孔(69)将水冷环滑动安装于滑轮(56)。
10.根据权利要求8所述的一种用于旋转靶绑定的水冷环装置,其特征在于:所述升降机构(51)包括支架(48),支架(48)竖直安装有一滑轨,滑轨安装于所述旋转靶(10)的一侧,滑轨设置有一滑动座,滑动座滑动安装于滑轨,滑动座设置有一滑动连接杆,滑动连接杆的一端连接滑动座,滑动连接杆的另一端与所述升降连接孔(69)连接。
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