[实用新型]一种用于旋转靶绑定的水冷环装置

说明书

本实用新型一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，包括水循环装置和水冷环，水冷环包括环体，环体内设置有中空的储水腔，储水腔贯穿于整个环体的内侧，环体的底面设置有多个喷水孔，喷水孔连接于储水腔，环体的侧面设置有进水部，进水部为一中空管体，进水部的一端连接于储水腔，进水部的另一端连接水循环装置。本实用新型的水冷环装置能对旋转靶的靶材管进行均匀降温，减短生产时间，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及旋转靶绑定技术领域，尤其是涉及一种用于旋转靶绑定的水冷环装置。

背景技术

旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕固定的条状磁铁组件旋转，可360度均匀刻蚀靶面，具有利用率高，镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点。

旋转靶材的传统绑定方法是将直径较大的圆筒状靶材套在直径相对较小的背管上，并在两者之间注入融合的金属铟，待冷却后，使得旋转靶材和背管通过凝固的铟连接成为一体，达到绑定的目的。传统的绑定方法将旋转靶材分多段依次绑定，该种绑定方法需要在前一段绑定的旋转靶材冷却后才能进行下一段旋转靶材的绑定，生产效率低，且旋转靶材之间的连接端口多，容易在焊接过程中端口变形而出现焊料的渗漏，内部焊料填充不充分，导致绑定效果差。

因此旋转靶需要一次整体绑定，在绑定加热后，等旋转靶自然冷却，冷却时间长，生产效率低。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，能对旋转靶的靶材管进行均匀降温，减短生产时间，提高生产效率。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，包括水循环装置和水冷环，水冷环包括环体，环体内设置有中空的储水腔，储水腔贯穿于整个环体的内侧，环体的底面设置有多个喷水孔，喷水孔连接于储水腔，环体的侧面设置有进水部，进水部为一中空管体，进水部的一端连接于储水腔，进水部的另一端连接水循环装置。

进一步的技术方案中，所述环体的底面设置有一喷水面，喷水面向环体的顶面方向倾斜设定角度，所述喷水孔设置于喷水面。

进一步的技术方案中，所述环体的底面的外侧设置有一间隔面，环体的底面内侧设置有所述喷水面，间隔面和喷水面组成环体的底面。

进一步的技术方案中，所述喷水面倾斜的设定角度为30-60度，喷水面的最高位置与所述环体的顶面之间设置有设定1-2cm的距离形成靶体保护面，间隔面的宽度设置在0.5-1.3cm。

进一步的技术方案中，所述喷水孔间隔相等地圆周分布于所述喷水面，喷水孔的直径设置在1-3mm，喷水孔的数量设置在30-50个。

进一步的技术方案中，所述环体的侧面设置有一手握部，手握部为一圆柱形，手握部的一端固定连接于环体的侧面，手握部的位置与所述进水部的位置相对。

进一步的技术方案中，所述环体的侧面的相对两侧各设置有升降连接部，升降连接部包括有两个固定片，固定片的一端固定连接于环体的侧面，固定片的另一端设置有一升降连接孔。

进一步的技术方案中，所述水循环装置包括升降机构、连接水管、水泵和循环池，连接水管的一端连接所述进水部的端口，连接水管的另一端连接水泵的出水口，水泵的进水口连接循环池，循环池用于收集并盛装冷却旋转靶的液体，升降机构连接于所述水冷环，水冷环滑动于循环池的上方。

进一步的技术方案中，所述升降机构包括支架，支架的一端固定于地面，另一端安装有滑轮，滑轮安装于所述旋转靶的上方，滑轮上安装有链条，链条分别穿过所述水冷环两侧的所述升降连接孔将水冷环滑动安装于滑轮。

进一步的技术方案中，所述升降机构包括支架，支架竖直安装有一滑轨，滑轨安装于所述旋转靶的一侧，滑轨设置有一滑动座，滑动座滑动安装于滑轨，滑动座设置有一滑动连接杆，滑动连接杆的一端连接滑动座，滑动连接杆的另一端与所述升降连接孔连接。