[实用新型]一种用于砷化镓生产的热场装置

权利要求书

1.一种用于砷化镓生产的热场装置，包括炉体(1)、保温筒(2)和石墨加热器(3)，其特征在于，所述炉体(1)内腔设置有保温筒(2)，保温筒(2)内壁设置有石墨加热器(3),石墨加热器(3)内壁设置有坩埚(5)，坩埚(5)底部设置有坩埚托架(6)，坩埚托架(6)底部设置有坩埚托杆(7),所述保温筒(2)顶端设置有导流筒(8)，导流筒(8)出口处位于坩埚(5)内腔，所述保温筒(2)底部设置有保温板(4)，所述石墨加热器(3)底部设置有电极(16)，电极(16)底部延伸至保温板(4)下方，所述保温板(4)底部两侧均设有连接柱(14)，连接柱(14)下方设置有支柱(15),支柱(15)底部连接炉体(1)底部内壁，所述保温板(4)左右两侧均通过吊耳设置有绳索(13),炉体(1)顶端两侧均设置有导线轮(12)，且炉体(1)左右两侧壁均设置有电机架(9)，电机架(9)上设置有电机(10)，电机(10)轴部连接有收线轮(11)，所述绳索(13)通过导线轮(12)缠绕至收线轮(11)上，且绳索(13)与炉体(1)内壁之间设置有若干个均匀分布的导向轮。

2.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓生产的热场装置，其特征在于，所述保温筒(2)底部两侧均设置有卡块(21)，保温板(4)上表面与卡块(21)对应设置有卡槽(20)。

3.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓生产的热场装置，其特征在于，所述保温板(4)底部与电极(16)连接处设置有防漏板(18)，防漏板(18)与电极(16)连接处设置有密封圈(19)。

4.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓生产的热场装置，其特征在于，所述连接柱(14)内腔设置有弹簧(22)，弹簧(22)远离连接柱(14)顶端内壁一端设置有推块(23)，推块(23)底部设置有缓冲块(24)。

5.根据权利要求1或4所述的一种用于砷化镓生产的热场装置，其特征在于，所述支柱(15)顶端设置有凹槽(25)，凹槽(25)与缓冲块(24)均为半球形结构，且缓冲块(24)的尺寸与凹槽(25)的尺寸相等。

6.根据权利要求4所述的一种用于砷化镓生产的热场装置，其特征在于，所述推块(23)两侧均设置有滑块(26)，连接柱(14)内壁设置有滑槽(27)，滑块(26)与滑槽(27)滑动连接。