[实用新型]一种用于砷化镓生产的热场装置

说明书

本实用新型公开了一种用于砷化镓生产的热场装置，包括炉体、保温筒和石墨加热器，所述炉体内腔设置有保温筒，保温筒内壁设置有石墨加热器,石墨加热器内壁设置有坩埚，坩埚底部设置有坩埚托架，坩埚托架底部设置有坩埚托杆,所述保温筒顶端设置有导流筒，导流筒出口处位于坩埚内腔，所述保温筒底部设置有保温板，使用时，通过启动电机，使得收线轮转动，从而将绳索进行收紧，从而将保温筒升起，从而避免了动用人工将保温筒抬起，进而节省了大量人力物力，且有效的避免了对保温筒造成的损伤，提高了保温筒的使用寿命，通过设置的防漏板及密封圈,有效的避免了高温硅液泄漏接触热场其余组件。

技术领域

本实用新型涉及砷化镓生产设备技术领域，具体是一种用于砷化镓生产的热场装置。

背景技术

热场装置是砷化镓晶体生产过程中应用的一种重要设备，其功能是为砷化镓晶体的生长过程提供适宜的温度环境。热场装置的结构通常包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒，使用热场装置进行生产时，需要在每个生产周期后将保温筒从炉体内抬出。

目前通常采用人力搬运的方式将保温筒抬出，这种方式不但费时费力，而且容易对石墨制成的保温筒造成损伤，大大的增加了生产成本，因此，本领域技术人员提供了一种用于砷化镓生产的热场装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于砷化镓生产的热场装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于砷化镓生产的热场装置，包括炉体、保温筒和石墨加热器，所述炉体内腔设置有保温筒，保温筒内壁设置有石墨加热器,石墨加热器内壁设置有坩埚，坩埚底部设置有坩埚托架，坩埚托架底部设置有坩埚托杆,所述保温筒顶端设置有导流筒，导流筒出口处位于坩埚内腔，所述保温筒底部设置有保温板，所述石墨加热器底部设置有电极，电极底部延伸至保温板下方，所述保温板底部两侧均设有连接柱，连接柱下方设置有支柱,支柱底部连接炉体底部内壁，所述保温板左右两侧均通过吊耳设置有绳索,炉体顶端两侧均设置有导线轮，且炉体左右两侧壁均设置有电机架，电机架上设置有电机，电机轴部连接有收线轮，所述绳索通过导线轮缠绕至收线轮上，且绳索与炉体内壁之间设置有若干个均匀分布的导向轮。

作为本实用新型进一步的方案：所述保温筒底部两侧均设置有卡块，保温板上表面与卡块对应设置有卡槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述保温板底部与电极连接处设置有防漏板，防漏板与电极连接处设置有密封圈。

作为本实用新型再进一步的方案：所述连接柱内腔设置有弹簧，弹簧远离连接柱顶端内壁一端设置有推块，推块底部设置有缓冲块。

作为本实用新型再进一步的方案：所述支柱顶端设置有凹槽，凹槽与缓冲块均为半球形结构，且缓冲块的尺寸与凹槽的尺寸相等。

作为本实用新型再进一步的方案：所述推块两侧均设置有滑块，连接柱内壁设置有滑槽，滑块与滑槽滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

使用时，通过启动电机，使得收线轮转动，从而将绳索进行收紧，从而将保温筒升起，从而避免了动用人工将保温筒抬起，进而节省了大量人力物力，且有效的避免了对保温筒造成的损伤，提高了保温筒的使用寿命，通过设置的防漏板及密封圈,有效的避免了高温硅液泄漏接触热场其余组件，同时避免高温硅液流至不锈钢炉室的内壁及底面，降低因漏硅产生的经济损失，当把保温筒下放时，通过设置的连接柱及支柱起到了很好的缓冲作用，从而避免下放保温筒时发生强烈震动，对保温筒造成损坏，从而对保温筒起到了很好的保护作用。

附图说明

图1为一种用于砷化镓生产的热场装置的结构示意图。

图2为一种用于砷化镓生产的热场装置中A的局部放大图。