[实用新型]晶圆夹具的导电座

权利要求书

1.一种晶圆夹具的导电座，供以靠抵于输电架，且适用于夹具本体，而所述晶圆夹具的导电座，其特征在于，包含：

主体，设置于所述夹具本体上；

多个导电头，设于所述主体，所述导电头具有相对的头端部及尾端部，所述头端部供以与所述输电架接触以电性连接，所述尾端部供以连接多个电线，所述导电座另具有底板及多个弹簧，而所述主体上贯设多个贯孔，各所述导电头分别设置于各所述贯孔内且分别具有朝向所述夹具本体的靠抵面，各所述导电头上分别具有环状的凸肋，所述凸肋供以靠抵于所述靠抵面上，所述底板设于连通各所述贯孔的底槽，各所述弹簧分别设于各所述贯孔内，且每一个所述弹簧的其中一端靠抵于所述凸肋，另一端则靠抵于所述底板。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹具的导电座，其特征在于，所述夹具本体上具有凸垣，且所述凸垣具有底面，所述主体自所述底面凹设通电槽，所述主体嵌设于所述通电槽内。

3.根据权利要求1所述的晶圆夹具的导电座，其特征在于，所述电线的其中一端分别连接端子，所述端子套设于所述尾端部。

4.根据权利要求3所述的晶圆夹具的导电座，其特征在于，另具有设于所述主体上的导电板及底板，所述导电板位于所述端子与所述底板之间，而所述端子直接与所述导电板靠抵连接。