[实用新型]晶圆夹具的导电座

说明书

本实用新型为一种晶圆夹具的导电座，包含：主体，设置于所述夹具本体上；多个导电头设于所述主体，所述导电头具有相对的头端部及尾端部，所述头端部供以与所述输电架接触以电性连接，所述尾端部供以连接多个电线，所述导电座另具有底板及多个弹簧，而所述主体上贯设多个贯孔，各所述导电头分别设置于各所述贯孔内且分别具有朝向所述夹具本体的靠抵面，各所述导电头上分别具有环状的凸肋，所述凸肋供以靠抵于所述靠抵面上，所述底板设于连通各所述贯孔的底槽，各所述弹簧分别设于各所述贯孔内，且每一个所述弹簧的其中一端靠抵于所述凸肋，另一端则靠抵于所述底板，由此解决现有的晶圆夹具电线外露，而在反复移动的过程中容易损坏的问题。

技术领域

本实用新型为一种晶圆夹具的导电座，特别是关于晶圆电镀的辅助制具的技术领域。

背景技术

一般晶圆电镀的制程中，会将晶圆夹持于晶圆夹具内，并由机械手臂将晶圆夹具并移动至电镀槽内进行电镀，为使晶圆夹具能够通电，一般晶圆夹具上设有电线并与电源导通。

由于晶圆夹具上配设的电线外露，导致线路凌乱，且机械手臂移动晶圆夹具的过程中，电线也会随着机械手臂的移动而被牵引，在长时间反复位移的情况下，将提升电线断裂的风险，电线断裂则会造成晶圆夹具故障而无法使用。

由于晶圆夹具的电线外露，导致电线容易在晶圆夹具移动的过程中损坏，造成晶圆夹具故障而无法使用，因此，确有必要提供一种技术手段，以解决晶圆夹具电线外露的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，解决晶圆夹具导通电源的电线外露的问题。

为达成前述目的，本实用新型为一种晶圆夹具的导电座，供以靠抵于输电架，且适用于夹具本体，而所述晶圆夹具的导电座，包含：

主体，设置于所述夹具本体上；

多个导电头，设于所述主体，所述导电头具有相对的头端部及尾端部，所述头端部供以与所述输电架接触以电性连接，所述尾端部供以连接多个电线，所述导电座另具有底板及多个弹簧，而所述主体上贯设多个贯孔，各所述导电头分别设置于各所述贯孔内，且各所述贯孔内分别具有朝向所述夹具本体的靠抵面，各所述导电头上分别具有环状的凸肋，所述凸肋供以靠抵于所述靠抵面上，所述底板设于连通各所述贯孔的底槽，各所述弹簧分别设于各所述贯孔内，且每一个所述弹簧的其中一端靠抵于所述凸肋，另一端则靠抵于所述底板。

在一较佳实施例中，所述夹具本体上具有凸垣，且所述凸垣具有底面，所述主体自所述底面凹设通电槽，所述主体嵌设于所述通电槽内。

在一较佳实施例中，所述电线的其中一端分别连接端子，所述端子套设于所述尾端部。

在一较佳实施例中，另具有设于所述主体上的导电板及底板，所述导电板位于所述端子与所述底板之间，而所述端子直接与所述导电板靠抵连接。

由前述可知，本实用新型的所述输电架与所述导电座的导电头直接接触，由此解决习知的晶圆夹具在反复移动的过程中，容易导致电线损坏的问题。

附图说明

图1为本实用新型在一较佳实施例中的立体图。

图2为本实用新型在一较佳实施例中的分解图。

图3为本实用新型在一较佳实施例中导电座的立体图。

图4为本实用新型在一较佳实施例中的剖视图。

附图中符号标记说明：

输电架11 电源线12

夹具本体20 凸垣21

底面211 通电槽212