[实用新型]电极组件及使用该电极组件的等离子体发生装置

权利要求书

1.一种电极组件，适用于等离子体发生装置，其特征在于，包括：

上电极组，所述上电极组包括上电极板、由上电极板的顶端向该上电极板的周向外侧进行包围的上气流幕绝缘结构，以及由上气流幕绝缘结构的顶端向该上气流幕绝缘结构的周向外侧进行包围的上外屏蔽层；

下电极组，所述下电极组包括下电极板、由下电极板的顶端向该下电极板的周向外侧进行固定的下电极固定座，以及由下电极固定座的顶端向该下电极固定座的周向外侧进行包围的下外屏蔽层；所述下电极组位于上电极组的下方，所述上电极板与下电极板相向设置且在所述上电极组与下电极组之间存在一定间距以形成辉光放电区。

2.根据权利要求1所述的电极组件，其特征在于，所述上外屏蔽层包括用于包围上气流幕绝缘结构的上屏蔽部，以及与所述上屏蔽部背离上气流幕绝缘结构相连的连接部；

所述连接部贯通有一中空的适于上电极连接芯线穿过的通道；

所述上电极连接芯线穿过所述通道后与上电极板电性相连。

3.根据权利要求2所述的电极组件，其特征在于，所述上气流幕绝缘结构包括环形本体、沿着所述环形本体的轴线方向位于该环形本体的一端面上的均匀排布的若干个出气孔，以及沿着所述环形本体的轴线方向位于该环形本体的另一个端面上的至少一个进气孔；

所述进气孔与若干个所述出气孔均贯通以使气流通过进气孔后适于从若干个所述出气孔进行溢散；以及

所述环形本体围合形成有圆形的用于嵌装所述上电极板的通孔。

4.根据权利要求3所述的电极组件，其特征在于，在所述环形本体设有若干个所述出气孔的端面上包括高台阶面的呈环形结构的封闭部，以及相对于所述封闭部凹陷的呈环形结构的气孔部；其中

若干个所述出气孔部均匀地分布在所述气孔部上。

5.根据权利要求4所述的电极组件，其特征在于，所述环形本体内部具有中空的用于与所述气孔部上的若干个所述出气孔贯通的气流腔。

6.根据权利要求5所述的电极组件，其特征在于，所述进气孔开设于所述环形本体的背离气孔部的侧端面上对应所述气流腔的部分处。

7.根据权利要求5所述的电极组件，其特征在于，所述连接部还贯通有一中空的适于气流管道穿过的接入口。

8.根据权利要求3～7任一项所述的电极组件，其特征在于，若干个所述出气孔的孔径均相同；以及

所述进气孔的孔径大于出气孔的孔径。

9.一种等离子体发生装置，其特征在于，包括：等离子体放电腔体、设于所述等离子体放电腔内体的如权利要求1～8任一项所述的电极组件、与所述等离子体放电腔体相连的用于调节等离子体放电腔体内的气压的真空组件，以及与所述等离子体放电腔体及电子组件相连的控制组件。