[实用新型]电极组件及使用该电极组件的等离子体发生装置

说明书

本实用新型公开了一种电极组件及使用该电极组件的等离子体发生装置，包括：上电极组和位于上电极组下方的下电极组。其中，上电极组包括上电极板、由上电极板的顶端向该上电极板的周向外侧进行包围的上气流幕绝缘结构，以及由上气流幕绝缘结构的顶端向该上气流幕绝缘结构的周向外侧进行包围的上外屏蔽层；下电极组包括下电极板、由下电极板的顶端向该下电极板的周向外侧进行固定的下电极固定座，以及由下电极固定座的顶端向该下电极固定座的周向外侧进行包围的下外屏蔽层；下电极组位于上电极组的下方，上电极板与下电极板相向设置且在上电极组与下电极组之间存在一定间距以形成辉光放电区。本实用新型可以有效提高辉光放电区产生的等离子体的浓度和密度。

技术领域

本实用新型涉及等离子体技术领域，尤其涉及一种电极组件及使用该电极组件的等离子体发生装置的气流幕绝缘结构。

背景技术

研究电磁波在等离子体中的传播特性，以及等离子体与电磁波的相互作用是航天飞行器再入、电离层研究、等离子体隐身技术等研究工作的基础和关键内容，其中地面实验是验证理论研究以及开展飞行试验的关键环节，具有重要意义。等离子体由离子、电子以及未电离的中性粒子的集合组成，整体呈现电中性，广泛存在于宇宙中，常被视为是物质的第四态。

介质阻挡放电是工业上产生低温等离子体的主要手段。它可以在大气压或高于大气压条件下，方便地产生大面积的低温等离子体，获得化学反应所需的活性粒子，在近百年的研究中，介质阻挡放电被广泛应用于材料的表面处理、臭氧合成、紫外光源、环境保护等领域。介质阻挡放电基本的电极结构是在两个金属电极之间的放电间隙上插入一个或者多个绝缘介质层。介质阻挡放电中通常采用固体绝缘介质材料，如玻璃、有机薄膜、陶瓷等，绝缘介质层主要起到防止放电电流增长过快，阻止发生弧光甚至火花放电的作用。现有技术例如公告号为CN206230868U公开的一种适用于成形过程的温度及气氛控制系统包括的上模芯陶瓷绝缘套筒和下模芯陶瓷绝缘套筒居委固体阻挡介质，从固体阻挡介质来说，其表面电荷累积可能影响等离子体产生的均匀性。

其次，对于等离子体发生装置来说，电磁的泄漏存在较大的安全隐患。

此外，采用等离子体发生装置可以对例如种子内能产生激活作用，从而使得作物发芽率提高，达到改善产品品质的目的。具体来说，等离子体发生装置是通过上下电极来形成辉光放电区，辉光放电区产生的电子、离子、激发态分子、原子、自由基等活性粒子，以及紫外光和X射线可以对经过辉光放电区的种子内能产生激活，在此过程中，辉光放电区产生的电子、离子、激发态分子、原子、自由基等活性粒子，以及紫外光和X射线的密度和浓度的高低对于种子内能激发的效果具有很直接的影响。

实用新型内容

本实用新型的第一目的是提供一种电极组件，以解决提高等离子体产生的浓度和密度以及使用时的安全性的技术问题。

本实用新型的第二目的是提供一种等离子体发生装置，以解决提高等离子体产生的浓度和密度以及使用时的安全性的技术问题。

本实用新型的电极组件是这样实现的：

一种电极组件，包括：

上电极组，所述上电极组包括上电极板、由上电极板的顶端向该上电极板的周向外侧进行包围的上气流幕绝缘结构，以及由上气流幕绝缘结构的顶端向该上气流幕绝缘结构的周向外侧进行包围的上外屏蔽层；

下电极组，所述下电极组包括下电极板、由下电极板的顶端向该下电极板的周向外侧进行固定的下电极固定座，以及由下电极固定座的顶端向该下电极固定座的周向外侧进行包围的下外屏蔽层；所述下电极组位于上电极组的下方，所述上电极板与下电极板相向设置且在所述上电极组与下电极组之间存在一定间距以形成辉光放电区。

在本实用新型较佳的实施例中，所述上外屏蔽层包括用于包围上气流幕绝缘结构的上屏蔽部，以及与所述上屏蔽部背离上气流幕绝缘结构相连的连接部；

所述连接部贯通有一中空的适于上电极连接芯线穿过的通道；