[实用新型]一种硅片或晶片清洗机

权利要求书

1.一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：包括机架（1）、上料台（2）、清洗槽组件（3）、出料台（4）、多关节抓取机械手（5）；上料台（2）、出料台（4）分别位于清洗槽组件（3）的两侧；清洗槽组件（3）上设有若干清洗槽（6）；机架（1）的前侧面清洗槽组件（3）以上敞开，机架（1）的其余面封闭；机架（1）上设有抽风装置（10）；多关节抓取机械手（5）的靠近机架端（51）位于清洗槽组件（3）的上方；多关节抓取机械手（5）的远离机架（1）端位于机架（1）的正前方；多关节抓取机械手（5）的靠近机架端（51）上设有转盘（53），转盘（53）上设有抓取装置（52）；通过抓取装置（52）取机械手（5）抓取上料台（2）将装有硅片或晶片的清洗篮（7），放入清洗槽组件（3）上的各清洗槽（6）内清洗，清洗完成后抓取出料台（4）上。

2.如权利要求1所述一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：清洗槽组件（3）包括一横排或若干横排清洗槽（6）。

3.如权利要求2所述一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：每横排的清洗槽（6）的数量为2-4个。

4.如权利要求2所述一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：各清洗槽（6）的顶面在同一平面上。

5.如权利要求4所述一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：上料台（2）、出料台（4）、各清洗槽（6）的顶面在同一平面上。

6.如权利要求1所述一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：机架（1）上靠近上料台（2）侧设有上料门（8），靠近出料台（4）侧设有出料门（9）。

7.如权利要求1所述一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：清洗篮（7）上活动连接有若干硅片收纳盒（11），清洗篮（7）的高度大于各清洗槽（6）的深度。

8.如权利要求7所述一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：多关节抓取机械手（5）的抓取装置（52）与清洗篮（7）的挂钩连接或吸附连接或真空吸附连接或夹持连接。

9.如权利要求8所述一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：清洗篮（7）上设有立柱（12），抓取装置（52）为可夹持立柱（12）的夹子（54），多关节抓取机械手（5）的靠近机架端（51）上的夹子（54）与清洗篮（7）的立柱（12）夹持连接，或者

清洗篮（7）上设有立柱（12），立柱（12）的顶端设有顶面位水平面的吸附板（13），抓取装置（52）为真空吸附盘（14），多关节抓取机械手（5）上的真空吸附盘（14）与立柱（12）的顶端的吸附板（13）真空吸附连接，或者，

清洗篮（7）设有铁件（15），抓取装置（52）为电磁铁（16），多关节抓取机械手（5）的电磁铁与清洗篮（7）的铁件（15）电磁吸附连接。

10.如权利要求1所述一种硅片或晶片清洗机，其特征在于：多关节抓取机械手（5）为有六个或六个以上自由度的多关节抓取机械手。