[实用新型]长运动行程推拉舟机构有效
申请号: | 201921385312.3 | 申请日: | 2019-08-26 |
公开(公告)号: | CN210379000U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 宋德鹏;姜良斌 | 申请(专利权)人: | 济南力冠电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 山东众成清泰律师事务所 37257 | 代理人: | 丁修亭 |
地址: | 250119 山东省济南市天桥区桑梓*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 运动 行程 推拉 机构 | ||
1.一种长运动行程推拉舟机构,其特征在于,包括:
机体,具有机体导轨,该机体导轨为水平的直线导轨;
滑座,该滑座与机体导轨配合形成机体导轨副,且滑座上安装有立架,立架上设有升降导轨,该升降导轨为竖直的直线导轨;
竖滑台,该竖滑台与所述升降导轨配合形成升降导轨副;
俯仰机构,安装在竖滑台上,具有俯仰输出构件;
悬臂,安装在俯仰输出构件上并在机体导轨延伸的方向上悬伸,为俯仰机构所驱动而能做俯仰调整;
第一驱动装置,以驱动滑座沿机体导轨运行;
第二驱动装置,以驱动竖滑台沿升降导轨运行;以及
第三驱动装置,以驱动俯仰机构做俯仰运动。
2.根据权利要求1所述的长运动行程推拉舟机构,其特征在于,所述第一驱动装置包括:
丝母丝杠机构,该丝母丝杠机构的丝杠与所述机体导轨平行,且该丝母丝杠机构的螺母安装在所述滑座上;
反馈单元,用于检测螺母的当前位置;以及
第一电机或第一电机减速器,用于输出连接丝母丝杠机构。
3.根据权利要求2所述的长运动行程推拉舟机构,其特征在于,所述反馈单元为安装在丝杠一侧的光栅尺或位于丝杠一端的旋转编码器。
4.根据权利要求2所述的长运动行程推拉舟机构,其特征在于,所述丝母丝杠机构配置为:
为一丝母丝杠机构,该丝母丝杠机构位于构成机体导轨的两条直线导轨中间;或
为两丝母丝杠机构,两丝母丝杠机构分居于构成机体导轨的两条直线导轨外侧;相应地,两丝母丝杠机构间通过同步机构同步。
5.根据权利要求4所述的长运动行程推拉舟机构,其特征在于,同步机构包括:
传动轴,由第一电机或第一电机减速器驱动;
输出齿轮,在传动轴的两端各设有一个;
从动齿轮,安装在相应丝杠的杆端,并与所在侧输出齿轮啮合。
6.根据权利要求1所述的长运动行程推拉舟机构,其特征在于,悬臂通过转轴安装在竖滑台上,相应的俯仰机构具有:
第一结构:转轴上安装有大齿轮,俯仰机构的俯仰输出构件为与所述大齿轮啮合的小齿轮,大齿轮与小齿轮所形成齿轮组的传动比为不小于7;
第二结构:悬臂自转轴向后延伸而形成尾段;俯仰机构的输出构件为凸轮,凸轮与所述尾段间接合。
7.根据权利要求6所述的长运动行程推拉舟机构,其特征在于,第三驱动装置为电机配合俯仰减速机的驱动装置,俯仰减速器的输出轴或该输出轴上的轴上零件构成所述俯仰输出构件。
8.根据权利要求7所述的长运动行程推拉舟机构,其特征在于,第三驱动装置所配电机为带有抱闸的电机。
9.根据权利要求1所述的长运动行程推拉舟机构,其特征在于,所述第二驱动装置为电机驱动的丝母丝杠机构。
10.根据权利要求1所述的长运动行程推拉舟机构,其特征在于,滑座上设有用于确定竖滑台上下最大行程的限位传感器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造