[实用新型]用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统有效
| 申请号： | 201921389201.X | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN210505203U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 姚志伟;蒲健;陈军;李本功 | 申请（专利权）人： | 聚灿光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B66C1/10 | 分类号： | B66C1/10 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 沈晓敏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 mocvd 设备 吊装 系统 | ||
1.一种用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，包括：
下横梁；
吊臂，所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接；
与所述下横梁固定连接的吊环，所述吊环与所述吊臂相背设置。
2.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述吊臂沿着所述下横梁的中心对称分布，且所述吊环设于所述下横梁的中心位置。
3.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述吊装治具还包括与所述吊环连接的上横梁，所述上横梁上设有用于与设备上盖固定连接的固定臂，且所述固定臂与所述吊环相背设置。
4.根据权利要求3所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，
所述上横梁上设有两端安装于上横梁相对侧壁中心位置处的卡销，所述卡销与所述吊环相互销连接且所述吊环位于所述卡销的中点位置；
所述固定臂沿着所述上横梁的中心对称分布且顶端可与所述设备上盖固定连接。
5.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述吊臂包括相互连接的臂杆及锁座，所述臂杆连接于所述下横梁，所述锁座可与所述设备加热基板固定连接。
6.根据权利要求5所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述下横梁包括两端安装于下横梁相对侧壁上的吊臂链接梁，所述臂杆的顶端穿挂于所述吊臂链接梁。
7.根据权利要求5所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述锁座表面形成与所述设备加热基板侧壁弧度契合的弧面。
8.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述下横梁上还设有防震橡胶弹垫。
9.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述下横梁、所述吊臂及所述吊环的可承载重量均不小于所述设备加热基板重量的120％。
10.一种用于MOCVD设备的吊装系统，包括设备加热基板、吊装治具及设备上盖，其特征在于，所述吊装治具为权利要求1至9中任意一项所述的吊装治具。
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