[实用新型]用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统

说明书

本实用新型涉及的一种用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统，所述吊装治具包括：下横梁；吊臂，所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接；与所述下横梁固定连接的吊环，所述吊环与所述吊臂相背设置。通过上述设置，可解决目前MOCVD设备中的加热基板需要人工搬运以进行维护的问题。

技术领域

本发明涉及气相沉积领域，尤其涉及一种用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统。

背景技术

目前，在MOCVD设备使用与维护领域，一般采用人力搬运MOCVD设备中的加热基板。

随着单体设备产能的不断提升，MOCVD设备中的机台等硬件集成度越来越高，其结构尺寸和重量也逐步变大，人工搬运加热基板需要多人配合，搬运极不方便，且由于人为力量不均衡，机台设备由于受力不均易导致磕碰损坏或形变。

因此，需要设计一种机械结构取缔人工操作，以方便设备维护与使用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统，以解决目前MOCVD设备中的加热基板需要人工搬运以进行维护的问题。

为了实现上述发明目的之一，本发明一实施方式提供一种用于MOCVD设备的吊装治具，包括：下横梁；吊臂，所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接；与所述下横梁固定连接的吊环，所述吊环与所述吊臂相背设置。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述吊臂沿着所述下横梁的中心对称分布，且所述吊环设于所述下横梁的中心位置。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述吊装治具还包括与所述吊环连接的上横梁，所述上横梁上设有用于与设备上盖固定连接的固定臂，且所述固定臂与所述吊环相背设置。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述上横梁上设有两端安装于上横梁相对侧壁中心位置处的卡销，所述卡销与所述吊环相互销连接且所述吊环位于所述卡销的中点位置；所述固定臂沿着所述上横梁的中心对称分布且顶端可与所述设备上盖固定连接。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述吊臂包括相互连接的臂杆及锁座，所述臂杆连接于所述下横梁，所述锁座可与所述设备加热基板固定连接。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述下横梁包括两端安装于下横梁相对侧壁上的吊臂链接梁，所述臂杆的顶端穿挂于所述吊臂链接梁。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述锁座表面形成与所述设备加热基板侧壁弧度契合的弧面。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述下横梁上还设有防震橡胶弹垫。

作为本发明一实施方式的进一步改进，所述下横梁、所述吊臂及所述吊环的可承载重量均不小于所述设备加热基板重量的120％。

本发明一实施方式还提供一种用于MOCVD设备的吊装系统，包括设备加热基板、吊装治具及设备上盖，所述吊装治具为如上任意一项所述的吊装治具。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：在吊装治具中设置起支撑作用的下横梁、与下横梁连接的吊臂以及吊环，吊臂用于连接MOCVD设备中加热基板，吊环用于与MOCVD设备的上盖连接，从而可通过上盖上的马达机构将加热基板以机械方式吊装搬运，以代替人工搬运，方便省力。

附图说明

图1是本发明实施例中吊装治具的结构示意图。

具体实施方式