[实用新型]激光折射镜罩子有效
| 申请号： | 201921393040.1 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN210649104U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 陈健清;成立炯;胡平;陈朔;郑宏 | 申请（专利权）人： | 上海凸版光掩模有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 折射 罩子 | ||
1.一种激光折射镜罩子，其特征在于，所述激光折射镜罩子包括：
底板；
环形侧板，所述环形侧板位于所述底板上，且所述环形侧板与所述底板形成容纳腔；
激光进口，所述激光进口位于所述环形侧板上；
激光出口，所述激光出口位于所述环形侧板上，且所述激光进口、所述容纳腔与所述激光出口相连通；
压缩气进口，所述压缩气进口位于所述环形侧板上，且所述压缩气进口与所述容纳腔相连通。
2.根据权利要求1所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述环形侧板的边缘包围所述底板的边缘。
3.根据权利要求1所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述底板与所述环形侧板的连接方式包括一体连接、焊接、螺纹连接、销连接及卡扣连接中的一种。
4.根据权利要求1所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述压缩气进口与气体压缩机相连接，且所述压缩气进口与所述气体压缩机之间连接有控制阀。
5.根据权利要求4所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述控制阀包括贺尔碧格PFI阀；所述贺尔碧格PFI阀包括2.5寸贺尔碧格PFI阀。
6.根据权利要求1所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述底板的长度的范围包括50mm～80mm；所述底板的宽度的范围包括20mm～50mm；所述环形侧板的高度的范围包括10mm～40mm。
7.根据权利要求1所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述底板包括表面黑色砂氧化处理的AL6061底板；所述环形侧板包括表面黑色砂氧化处理的AL6061环形侧板。
8.根据权利要求1所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述环形侧板所围成的形貌包括圆形及多边形中的一种或组合。
9.根据权利要求1所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述环形侧板上设置有连接孔，以通过所述连接孔固定连接所述激光折射镜罩子。
10.根据权利要求1～9中任一所述的激光折射镜罩子，其特征在于：所述激光折射镜罩子包括用于CORE激光光刻机器上的激光折射镜罩子。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海凸版光掩模有限公司，未经上海凸版光掩模有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921393040.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种适用于航天标准件的拉伸矫直装置
- 下一篇：一种折叠式试管架
