[实用新型]激光折射镜罩子

说明书

本实用新型提供一种激光折射镜罩子，激光折射镜罩子包括底板、环形侧板、激光进口、激光出口及压缩气进口；其中，环形侧板位于底板上，且环形侧板与底板形成容纳腔；激光进口、激光出口及压缩气进口位于环形侧板上，且激光进口、容纳腔与激光出口相连通，压缩气进口与容纳腔相连通。本实用新型的激光折射镜罩子，通过激光折射镜罩子与机器的全面覆盖设计，可提高折射镜的镜面洁净度，降低激光功率的衰减，延长光刷组件的使用寿命；进一步的，可通过压缩气进口向容纳腔持续的进行压缩气充气，以形成正压，可更好的避免污染物进入容纳腔，以进一步的提高折射镜的镜面洁净度。

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，涉及一种激光折射镜罩子。

背景技术

集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术称为光刻技术，光刻技术成为一种精密的微细加工技术。随着半导体技术的发展，光刻技术已从常规光学技术发展到应用电子束、X射线、微离子束、激光等新技术。

在激光光刻机器上设有光刷组件，光刷组件的功能是把激光源提供的一束激光通过折射镜折射成多束激光，并以声控模式进行调整和控制激光光束传输，决定激光光束是否进入光刻所使用的光路上。如在CORE激光光刻机器上，对激光光束的折射是通过折射镜组进行的，折射镜组由具有特设位置的三面折射镜构成，通过这三面折射镜可把一束激光折射成八束激光。

在激光光刻机器的使用过程中，折射镜的镜面需保持洁净，如果折射镜的镜面有污染物存在，且污染物正好被激光击中，则激光的热量会把污染物焚化，且焚化后会在折射镜的镜面上留下烧焦痕迹，这种痕迹会导致激光功率下降，且会降低光刷组件的使用寿命，如一般光刷组件的使用寿命大概是24个月以上，环境好的情况下可维持36个月，环境如果存在污染物较多的情况下，会让光刷组件的使用寿命出现异常的降低，如使用寿命降低至9个月～10个月。

因此，提供一种激光折射镜罩子，以对折射镜进行保护，提高折射镜的镜面洁净度，降低激光功率的衰减，延长光刷组件的使用寿命，实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种激光折射镜罩子，用于解决现有技术中由于使用环境中污染物所造成的激光折射镜的镜面污染，使得激光功率衰减、光刷组件使用寿命降低的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种激光折射镜罩子，所述激光折射镜罩子包括：

底板；

环形侧板，所述环形侧板位于所述底板上，且所述环形侧板与所述底板形成容纳腔；

激光进口，所述激光进口位于所述环形侧板上；

激光出口，所述激光出口位于所述环形侧板上，且所述激光进口、所述容纳腔与所述激光出口相连通；

压缩气进口，所述压缩气进口位于所述环形侧板上，且所述压缩气进口与所述容纳腔相连通

可选地，所述环形侧板的边缘包围所述底板的边缘。

可选地，所述底板与所述环形侧板的连接方式包括一体连接、焊接、螺纹连接、销连接及卡扣连接中的一种。

可选地，所述压缩气进口与气体压缩机相连接，且所述压缩气进口与所述气体压缩机之间连接有控制阀。

可选地，所述控制阀包括贺尔碧格PFI阀；所述贺尔碧格PFI阀包括2.5寸贺尔碧格PFI阀。

可选地，所述底板的长度的范围包括50mm～80mm；所述底板的宽度的范围包括20mm～50mm；所述环形侧板的高度的范围包括10mm～40mm。

可选地，所述底板包括表面黑色砂氧化处理的AL6061底板；所述环形侧板包括表面黑色砂氧化处理的AL6061环形侧板。