[实用新型]一种真空蒸镀坩埚防堵料装置

权利要求书

1.一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，其包括用于放置待蒸镀材料的坩埚(1)和设置在所述坩埚(1)开口处的挡板(2)，其特征在于，所述装置还包括一具有加热功能的升降柱(3)，所述升降柱(3)设置在所述挡板(2)上，所述升降柱(3)的直径小于所述坩埚(1)开口内径；所述升降柱(3)可随所述挡板(2)的关闭来到所述坩埚(1)开口处，并随着所述升降柱(3)的下降而伸入到所述坩埚(1)开口内部，用于捅破堵塞在所述坩埚(1)开口处的蒸镀材料膜，并对附着在所述坩埚(1)开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华，且所述升降柱(3)可随所述挡板(2)的打开而离开所述坩埚(1)口。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述坩埚(1)为上窄下宽式束口结构。

3.根据权利要求1所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述坩埚(1)的内壁光滑且无分段。

4.根据权利要求1所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述升降柱(3)为设置在所述挡板(2)下方的可伸缩式结构，所述升降柱(3)的最大长度大于所述挡板(2)与所述坩埚(1)开口之间所形成的间距。

5.根据权利要求1所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述升降柱(3)的内壁上自上而下环向设有加热线圈(31)。

6.根据权利要求1所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述升降柱(3)与所述挡板(2)为一体式结构。

7.根据权利要求1所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述装置还包括挡板支柱(4)，所述挡板(2)设置在所述挡板支柱(4)上，用于支撑所述挡板(2)，并控制所述挡板(2)与所述坩埚(1)开口间的间距。

8.根据权利要求1-7任一项所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述装置还包括控制机构(5)，所述控制机构(5)分别与所述挡板(2)和升降柱(3)电性连接，用于控制所述挡板(2)的开闭及所述升降柱(3)的加热。

9.根据权利要求1-7任一项所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述装置还包括控制机构(5)和空气压缩机构(6)，所述控制机构(5)与所述空气压缩机构(6)电性连接，用于为所述空气压缩机构(6)提供电源，所述空气压缩机构(6)与所述挡板(2)通过一气管道(7)连通，通过所述空气压缩机构(6)的鼓气和抽气用于控制所述升降柱(3)的伸缩，控制机构(5)与所述挡板(2)电性连接，用于控制所述挡板(2)的开闭；所述控制机构(5)与所述升降柱(3)电性连接，用于控制所述升降柱(3)的加热。

10.根据权利要求9所述的真空蒸镀坩埚防堵料装置，其特征在于，所述空气压缩机构(6)为压缩泵。