[实用新型]一种真空蒸镀坩埚防堵料装置

说明书

本实用新型公开了一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，其包括用于放置待蒸镀材料的坩埚、设置在坩埚开口处的挡板和具有加热功能的升降柱，升降柱设置在挡板上，当发生堵料情况时，升降柱可随挡板的关闭来到坩埚开口处，并随着升降柱的下降而伸入到坩埚开口内部，用于捅破堵塞在坩埚开口处的蒸镀材料膜，并对附着在坩埚开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华,可以在短时间内及时解决堵料问题，且不会造成材料的浪费；不用时升降柱可以收缩到挡板上，蒸镀时随挡板的打开而离开坩埚口，不影响蒸镀过程。

技术领域

本实用新型涉及OLED蒸镀设备技术领域，具体涉及一种真空蒸镀坩埚防堵料装置。

背景技术

真空蒸镀设备作为OLED技术应用的核心，完美的改变了OLED材料的器件制备工艺，大幅提高了OLED器件制备的精度和使用时间，提高了量产的效率和良品率，是目前使用最为广泛的OLED生产工具。而在真空蒸镀设备中，蒸发源中的配套坩埚作为OLED材料在蒸镀设备中的载体，不但承担着装载材料的作用，同时也影响着材料的加热和蒸发。

OLED蒸镀设备中，用于承载有机蒸发材料的坩埚在蒸镀过程中容易发生堵料现象，影响正常的蒸镀，目前常用的解决此问题的方法如下：(一)当发生堵料时处理方法：A.开腔处理堵住的坩埚口，增加充气、抽真空的重复操作，此做法会影响实验进度；B.升高材料蒸镀温度，以高速率冲破坩埚口形成的薄膜，但会极大的造成材料的浪费，且可能使得材料在高温下劣化；(二)防止堵料的方法：A.采用两套加热源，给坩埚口部加热，使其升华，但坩埚口的温度要高于蒸镀温度，可能会导致材料劣化，且另加一个加热源的成本高；B.坩埚口处的挡板设置成可调节的，用于改变开口大小，但其挡板设计复杂，而且会使附着在挡板上的材料增多，造成材料的浪费。

实用新型内容

针对现有技术中的以上不足，本实用新型提供一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，采用在挡板上添加可加热的升降柱，并将坩埚设计成上窄下宽的束口形状，可在短时间内有效解决坩埚口堵料问题，简单易行。

本实用新型采用如下技术方案：

一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，其包括用于放置待蒸镀材料的坩埚和设置在所述坩埚开口处的挡板，所述装置还包括一具有加热功能的升降柱，所述升降柱设置在所述挡板上，所述升降柱的直径小于所述坩埚开口内径；所述升降柱可随所述挡板的关闭来到所述坩埚开口处，并随着所述升降柱的下降而伸入到所述坩埚开口内部，用于捅破堵塞在所述坩埚开口处的蒸镀材料膜，并对附着在所述坩埚开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华，且所述升降柱可随所述挡板的打开而离开所述坩埚口。

所述坩埚为上窄下宽式束口结构。

所述坩埚的内壁光滑且无分段。

所述升降柱为设置在所述挡板下方的可伸缩式结构，所述升降柱的最大长度大于所述挡板与所述坩埚开口之间所形成的间距。

所述升降柱的内壁上自上而下环向设有加热线圈。

所述升降柱与所述挡板为一体式结构。

所述装置还包括挡板支柱，所述挡板设置在所述挡板支柱上，用于支撑所述挡板，并控制所述挡板与所述坩埚开口间的间距。

所述装置还包括控制机构，所述控制机构分别与所述挡板和升降柱电性连接，用于控制所述挡板的开闭及所述升降柱的加热。

或者，所述装置还包括控制机构和空气压缩机构，所述控制机构与所述空气压缩机构电性连接，用于为所述空气压缩机构提供电源，所述空气压缩机构与所述挡板通过一气管道连通，通过所述空气压缩机构的鼓气和抽气用于控制所述升降柱的伸缩，控制机构与所述挡板电性连接，用于控制所述挡板的开闭；所述控制机构与所述升降柱电性连接，用于控制所述升降柱的加热。

所述空气压缩机构为压缩泵。

本实用新型技术方案，具有如下优点：