[实用新型]光罩检测装置

权利要求书

1.一种光罩检测装置，其特征在于，包括：

探测腔，用于容纳并检测光罩表面是否存在颗粒物；

吹扫部，设置于所述探测腔的端部，用于对进入和/或退出所述探测腔的所述光罩进行气体吹扫，以去除所述光罩表面的颗粒物。

2.根据权利要求1所述的光罩检测装置，其特征在于，还包括：

承载部，用于承载所述光罩，并将所述光罩传输至所述探测腔。

3.根据权利要求2所述的光罩检测装置，其特征在于，还包括：

外壳，所述探测腔由所述外壳围绕形成；

所述吹扫部包括通道，所述通道位于所述外壳夹层内，用于传输对所述光罩进行吹扫的气体。

4.根据权利要求3所述的光罩检测装置，其特征在于，所述吹扫部还包括：风刀，所述风刀的入风侧与所述通道连通、出风侧相对于所述承载部倾斜一预设角度，以对位于所述承载部上的所述光罩进行倾斜吹扫。

5.根据权利要求4所述的光罩检测装置，其特征在于，所述承载部沿第一方向传输所述光罩进出所述探测腔；

所述通道沿第一方向延伸，所述风刀沿第二方向延伸，且所述第一方向垂直于所述第二方向。

6.根据权利要求5所述的光罩检测装置，其特征在于，所述预设角度为大于0度且小于20度。

7.根据权利要求3所述的光罩检测装置，其特征在于，还包括：

排气部，设置于所述探测腔的外部，以排出用于吹扫的所述气体。

8.根据权利要求7所述的光罩检测装置，其特征在于，所述排气部包括：

管道，位于所述外壳表面，所述管道的一端开口与所述吹扫部位于所述探测腔的同侧、另一端开口用于与真空泵连接。