[实用新型]一种硅烷除磷纯化器

权利要求书

1.一种硅烷除磷纯化器，其特征在于：包括第一密封罐体（1）和第二密封罐体（2），其中，所述第一密封罐体（1）和第二密封罐体（2）的顶端和底端分别设置有密封法兰盘（3），所述第一密封罐体（1）和第二密封罐体（2）内部装填有吸附剂（4），所述第一密封罐体（1）底部设置有第一进气管（5），所述第一进气管（5）上设置有第一连接法兰盘（6），所述第一进气管（5）上位于第一连接法兰盘（6）下方设置有第一截止阀（7），所述第二密封罐体（2）底部设置有第二进气管（8），所述第二进气管（8）上设置有第二连接法兰盘（9），所述第二进气管（8）上位于第二连接法兰盘（9）下方设置有第二截止阀（10），第一进气管（5）和第二进气管（8）共同连接主进气管（11），所述第一密封罐体（1）顶部设置有第一出气管（12），所述第一出气管（12）上设置有第三连接法兰盘（13），所述第一出气管（12）上位于第三连接法兰盘（13）上方设置有第三截止阀（14），所述第二密封罐体（2）顶部设置有第二出气管（15），所述第二出气管（15）上设置有第四连接法兰盘（16），所述第二出气管（15）上位于第四连接法兰盘（16）上方设置有第四截止阀（17），第一出气管（12）和第二出气管（15）共同连接主出气管（18），所述第一密封罐体（1）和第二密封罐体（2）上还分别设置有真空排空装置（19），真空排空装置（19）连接有吸取管（20），吸取管（20）伸入第一密封罐体（1）和第二密封罐体（2）内部。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷除磷纯化器，其特征在于：所述第一进气管（5）和第二进气管（8）分别伸入第一密封罐体（1）和第二密封罐体（2）内，且第一进气管（5）和第二进气管（8）位于第一密封罐体（1）和第二密封罐体（2）内部的进气口处连接有气体分布器（21）。

3.根据权利要求1所述的一种硅烷除磷纯化器，其特征在于：所述真空排空装置（19）的出气管连接有过滤装置。

4.根据权利要求1所述的一种硅烷除磷纯化器，其特征在于：所述密封法兰盘（3）、第一连接法兰盘（6）、第二连接法兰盘（9）、第三连接法兰盘（13）、第四连接法兰盘（16）均分别由螺栓固定。

5.根据权利要求1所述的一种硅烷除磷纯化器，其特征在于：所述第一密封罐体（1）和第二密封罐体（2）采用不锈钢密封罐。

6.根据权利要求1所述的一种硅烷除磷纯化器，其特征在于：所述第一截止阀（7）、第二截止阀（10）、第三截止阀（14）、第四截止阀（17）采用高压高气密性波纹管不锈钢阀。

7.根据权利要求1所述的一种硅烷除磷纯化器，其特征在于：所述第一密封罐体（1）和第二密封罐体（2）内部设置有压力表（22），所述压力表（22）控制连接所述真空排空装置（19）。

8.根据权利要求1所述的一种硅烷除磷纯化器，其特征在于：所述吸附剂（4）可采用活性炭、分子筛或者树脂。