[实用新型]一种改进的高纯硅烷储存罐

权利要求书

1.一种改进的高纯硅烷储存罐，包括罐体（1）、罐体固定台座（2）、阀门（3）和漏气监测装置（4），其特征在于：罐体（1）固定设置在罐体固定台座（2）上，罐体（1）的右侧设置有阀门（3），罐体（1）的左侧设置有漏气监测装置（4），罐体（1）设置为双层结构，罐体（1）包括内壳（11）、外壳（12）、挡板（13）、撑板（14）和连接管（15），内壳（11）的外侧设置有外壳（12），内壳（11）与外壳（12）在左右两端连接处分别固定设置有挡板（13），内壳（11）外部与外壳（12）的内部相连接处沿左右方向设置有多个撑板（14），撑板（14）上均布设置有通气孔（1401），右侧的挡板（13）上固定设置有连接管（15），连接管（15）上设置有气压表和温度计，连接管（15）的右端设置有第二阀门。

2.根据权利要求1所述的一种改进的高纯硅烷储存罐，其特征在于：内壳（11）与外壳（12）之间通过第二阀门抽成真空状态。

3.根据权利要求1所述的一种改进的高纯硅烷储存罐，其特征在于：外壳（12）的表面涂设有防锈涂层。

4.根据权利要求1所述的一种改进的高纯硅烷储存罐，其特征在于：挡板（13）采用焊接的方式固定在内壳（11）与外壳（12）的连接处，并在内壳（11）和外壳（12）的连接处涂覆密封胶。

5.根据权利要求1所述的一种改进的高纯硅烷储存罐，其特征在于：撑板（14）的数量是三个。

6.根据权利要求1所述的一种改进的高纯硅烷储存罐，其特征在于：连接管（15）的材质采用铜，连接管（15）与挡板（13）之间保持密封。