[实用新型]一种改进的高纯硅烷储存罐

说明书

本实用新型公开了一种改进的高纯硅烷储存罐，包括罐体、罐体固定台座、阀门和漏气监测装置，罐体固定设置在罐体固定台座上，罐体的右侧设置有阀门，罐体的左侧设置有漏气监测装置，罐体设置为双层结构，罐体包括内壳、外壳、挡板、撑板和连接管，内壳的外侧设置有外壳，内壳与外壳在左右两端连接处分别固定设置有挡板，内壳外部与外壳的内部相连接处沿左右方向设置有多个撑板，撑板上均布设置有通气孔，右侧的挡板上固定设置有连接管，连接管上设置有气压表和温度计，连接管的右端设置有第二阀门；本实用新型具有使用安全、延长使用寿命的优点。

技术领域

本实用新型属于化工设备技术领域，具体涉及一种改进的高纯硅烷储存罐。

背景技术

硅烷是一种电子气体，硅烷在储存的过程中，由于其储存罐体多为圆柱形，在放置的过程中容易发生滚动而造成碰撞，存在很大的安全隐患；并且硅烷燃点低，会在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧，硅烷发生泄露时，如不及时发现并处理，很容易引发火灾和发生爆炸，存在很大的危险性；为解决上述问题，本公司之前公开了一种高纯硅烷储存罐，其授权公告号为CN206647757U，但是，这种储存罐在使用中，只能起到自行检测的作用，发生泄露时，需要对整个装置进行检修，很多时候错过了最佳的补救时间，同时，当外界温度较高时，罐体内部的硅烷气体压力增大，此时若发生轻微的泄漏，监测装置并不能及时报警；因此，开发一种具有使用安全、延长使用寿命的改进的高纯硅烷储存罐很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种具有使用安全、延长使用寿命的改进的高纯硅烷储存罐。

本实用新型的目的是这样实现的：一种改进的高纯硅烷储存罐，包括罐体、罐体固定台座、阀门和漏气监测装置，罐体固定设置在罐体固定台座上，罐体的右侧设置有阀门，罐体的左侧设置有漏气监测装置，罐体设置为双层结构，罐体包括内壳、外壳、挡板、撑板和连接管，内壳的外侧设置有外壳，内壳与外壳在左右两端连接处分别固定设置有挡板，内壳外部与外壳的内部相连接处沿左右方向设置有多个撑板，撑板上均布设置有通气孔，右侧的挡板上固定设置有连接管，连接管上设置有气压表和温度计，连接管的右端设置有第二阀门。

进一步地，内壳与外壳之间通过第二阀门抽成真空状态。

进一步地，外壳的表面涂设有防锈涂层。

进一步地，挡板采用焊接的方式固定在内壳与外壳的连接处，并在内壳和外壳的连接处涂覆密封胶。

进一步地，撑板的数量是三个。

进一步地，连接管的材质采用铜，连接管与挡板之间保持密封。

由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

（1）通过设置的内壳与外壳，当内壳发生泄露时，硅烷气体进入外壳内，此时，通过设置在连接管上的气压表，可检测出硅烷发生泄露，由于内壳发生泄露后，硅烷并未与空气接触，增加了操作人员的反应时间，同时，便于操作人员对泄露点的排查，可快速分清是罐体泄露还是阀门或漏气监测装置连接处泄露，便于操作人员进行反应；

（2）通过设置的内壳与外壳，使内壳与外壳之间的空腔抽成真空，隔绝了外部温度向内壳传递，降低外部温度与内壳内的硅烷的影响，使存储更加安全，同时，在外壳表面涂设防锈涂层，延长了设备的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是部件1的半剖后的立体示意图。

图中：1、罐体 11、内壳 12、外壳 13、挡板 14、撑板 15、连接管 2、罐体固定台座3、阀门 4、漏气监测装置 1401、通气孔。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案做进一步具体的说明。